[实用新型]一种等离子刻蚀机反应室

说明书

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产技术领域，公开了一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室外壳、设置在反应室外壳底部的电动机、连接在电动机主轴上的旋转平台以及固接在进气法兰内部的陶瓷板，所述反应室外壳的后表面固接有蓄电池，且反应室外壳和反应室内壳之间还设置有降噪组件，所述真空泵接口的内部设置有密封组件。本实用新型通过降噪组件可以降低反应室在工作过程中产生的噪音，降低了噪音对周围环境造成的污染，同时采用多层式的降噪材料，使得降噪效果大大提升，通过密封组件还可以便于使用者通过手动的方式将真空泵接口进行打开和关闭，使真空泵接口处不易出现气体渗漏现象，从而保障了该反应室的正常使用。

技术领域

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产技术领域，具体是一种等离子刻蚀机反应室。

背景技术

在晶体硅太阳能电池生产过程中的扩散工序中，硅片的边缘部分形成了PN结，等离子刻蚀的作用是将硅片边缘部分的PN结去除，否则将导致电池正负极之间并联电阻过小，且漏电电流过大，影响电池的输出特性。

现有的晶体硅太阳能电池生产过程中的等离子刻蚀机反应室的隔音效果不够理想，产生的噪音容易对周围环境带来影响，同时真空泵接口处也容易出现气体泄漏的问题，从而影响反应室的正常使用。因此，本领域技术人员提供了一种等离子刻蚀机反应室，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种等离子刻蚀机反应室，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室外壳、设置在反应室外壳内侧的反应室内壳、固接在反应室外壳一侧的控制开关和真空泵接口、固接在反应室外壳另一侧的进气法兰、设置在反应室外壳底部的电动机、连接在电动机主轴上的旋转平台以及固接在进气法兰内部的陶瓷板，所述反应室外壳的后表面固接有蓄电池，且反应室外壳和反应室内壳之间还设置有降噪组件，所述真空泵接口的内部设置有密封组件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述密封组件包括把手、螺纹杆、第一安装板、第二安装板和活塞，所述螺纹杆嵌入安装在真空泵接口的内部，且螺纹杆与真空泵接口通过螺纹连接，所述螺纹杆的顶端固接有把手，且螺纹杆的底端通过轴承活动有活塞，所述活塞的外部由上而下依次滑动有第一安装板和第二安装板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一安装板和第二安装板均与真空泵接口的内壁固接，且第一安装板和第二安装板呈相对设置，所述活塞分别与第一安装板和第二安装板的内壁贴合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述降噪组件包括管道、第一降噪垫、橡皮塞和第二降噪垫，所述第一降噪垫的内侧设置有第二降噪垫，且第一降噪垫和第二降噪垫之间密封设置有管道，所述管道的内壁紧贴有球状的橡皮塞。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第二降噪垫与反应室内壳通过螺丝固定，所述第一降噪垫与反应室外壳通过螺丝固定，所述第一降噪垫和第二降噪垫均为玻璃纤维材质的构件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述电动机的驱动端贯穿反应室外壳和反应室内壳的内部并与旋转平台相连，且电动机与反应室外壳通过螺丝固定。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过降噪组件可以降低反应室在工作过程中产生的噪音，降低了噪音对周围环境造成的污染，同时采用多层式的降噪材料，使得降噪效果大大提升；

2、通过密封组件还可以便于使用者通过手动的方式将真空泵接口进行打开和关闭，使真空泵接口处不易出现气体渗漏现象，从而保障了该反应室的正常使用。

附图说明

图1为一种等离子刻蚀机反应室的结构示意图；