[实用新型]一种等离子刻蚀机反应室

权利要求书

1.一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室外壳(2)、设置在反应室外壳(2)内侧的反应室内壳(14)、固接在反应室外壳(2)一侧的控制开关(1)和真空泵接口(3)、固接在反应室外壳(2)另一侧的进气法兰(7)、设置在反应室外壳(2)底部的电动机(5)、连接在电动机(5)主轴上的旋转平台(4)以及固接在进气法兰(7)内部的陶瓷板(6)，其特征在于，所述反应室外壳(2)的后表面固接有蓄电池，且反应室外壳(2)和反应室内壳(14)之间还设置有降噪组件(18)，所述真空泵接口(3)的内部设置有密封组件(12)。

2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机反应室，其特征在于，所述密封组件(12)包括把手(8)、螺纹杆(9)、第一安装板(10)、第二安装板(11)和活塞(13)，所述螺纹杆(9)嵌入安装在真空泵接口(3)的内部，且螺纹杆(9)与真空泵接口(3)通过螺纹连接，所述螺纹杆(9)的顶端固接有把手(8)，且螺纹杆(9)的底端通过轴承活动有活塞(13)，所述活塞(13)的外部由上而下依次滑动有第一安装板(10)和第二安装板(11)。

3.根据权利要求2所述的一种等离子刻蚀机反应室，其特征在于，所述第一安装板(10)和第二安装板(11)均与真空泵接口(3)的内壁固接，且第一安装板(10)和第二安装板(11)呈相对设置，所述活塞(13)分别与第一安装板(10)和第二安装板(11)的内壁贴合。

4.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机反应室，其特征在于，所述降噪组件(18)包括管道(15)、第一降噪垫(16)、橡皮塞(17)和第二降噪垫(19)，所述第一降噪垫(16)的内侧设置有第二降噪垫(19)，且第一降噪垫(16)和第二降噪垫(19)之间密封设置有管道(15)，所述管道(15)的内壁紧贴有球状的橡皮塞(17)。

5.根据权利要求4所述的一种等离子刻蚀机反应室，其特征在于，所述第二降噪垫(19)与反应室内壳(14)通过螺丝固定，所述第一降噪垫(16)与反应室外壳(2)通过螺丝固定，所述第一降噪垫(16)和第二降噪垫(19)均为玻璃纤维材质的构件。

6.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机反应室，其特征在于，所述电动机(5) 的驱动端贯穿反应室外壳(2)和反应室内壳(14)的内部并与旋转平台(4)相连，且电动机(5)与反应室外壳(2)通过螺丝固定。