[实用新型]一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具有效

专利信息
申请号: 201922040778.6 申请日: 2019-11-24
公开(公告)号: CN210984700U 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 马洋洋 申请(专利权)人: 上海菲利华石创科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海梵恒知识产权代理事务所(普通合伙) 31357 代理人: 王裕
地址: 201801 上海市嘉定区马陆镇*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具,包括底座和弧形切割刀,所述底座的上端固定连接有一个操作台,所述操作台的上端四周分别活动连接有一个夹块,所述弧形切割刀位于操作台的中部上方,所述夹块的下端中部固定连接有一个滑动块,所述滑动块的下部活动连接有一个连接杆,所述底座的内壁下端中部固定连接有一个伸缩气泵,所述伸缩气泵的上端中部固定安装有一个伸缩杆,且连接杆的另一端与伸缩杆连接在一起。本实用新型所述的一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具,通过设置一个弧形切割刀和一个操作台,能够有效提高弧面角的加工速度,缩短加工时间,保证固定的稳固性,大大提高了加工效率。
搜索关键词: 一种 新型 半导体 刻蚀 石英 加工 成型 刀具
【主权项】:
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