[实用新型]硅片输送载具及硅片传送装置

摘要

本实用新型提供了一种硅片输送载具及硅片传送装置，硅片输送载具包括支撑板、定位件和固定件，定位件设置在支撑板的一侧，定位件包括弯折部，弯折部适于与硅片上朝向支撑板的边沿相抵接，并将边沿限位于弯折部处；固定件设置在支撑板上设有定位件的一侧，并用于限位硅片的侧边。本实用新型提供的载具，弯折部能够对硅片上朝向支撑板的边沿起到限位作用，防止该边沿相对于支撑板运动，从而使得载具能够承载硅片。该结构简单、成本低，且能够实现对硅片的稳定承载，避免硅片相对于载具晃动，从而避免硅片因晃动出现的划伤、红外EL黑点、隐裂等质量隐患。