[实用新型]硅片输送载具及硅片传送装置

权利要求书

1.一种硅片输送载具，其特征在于，包括：

支撑板；

定位件，设置在所述支撑板的一侧，所述定位件包括弯折部，所述弯折部适于与所述硅片上朝向所述支撑板的边沿相抵接，并将所述边沿限位于所述弯折部处；和

固定件，设置在所述支撑板上设有所述定位件的一侧，并用于限位所述硅片的侧边。

2.根据权利要求1所述的硅片输送载具，其特征在于，

所述弯折部呈圆弧形或R形。

3.根据权利要求1所述的硅片输送载具，其特征在于，

所述定位件包括依次设置的连接部、定位件本体和凸起部，所述连接部位于所述定位件本体靠近所述支撑板的一侧并用于与所述支撑板相连接，所述凸起部位于所述定位件本体背离所述支撑板的一侧，所述凸起部与所述定位件本体的连接处形成所述弯折部。

4.根据权利要求3所述的硅片输送载具，其特征在于，

所述定位件本体与所述支撑板之间具有间隙。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的硅片输送载具，其特征在于，

所述支撑板上设有多个连接部，多个所述连接部与硅片传送装置上的多个连接配合部一一对应并相连接。

6.根据权利要求5所述的硅片输送载具，其特征在于，

所述连接部包括供紧固件穿过的安装孔，以使所述支撑板与所述硅片传送装置通过所述紧固件相连接，且多个所述安装孔沿所述支撑板的长度方向依次设置。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的硅片输送载具，其特征在于，

所述固定件包括相对设置的第一连杆和第二连杆，所述第一连杆和所述第二连杆设置在所述支撑板上，所述固定件还包括设置在所述第一连杆和所述第二连杆之间的耳托部，所述耳托部位于所述第一连杆及所述第二连杆背离所述定位件的一侧并限定出开口朝向所述定位件的开口槽，所述耳托部用于限位所述硅片的侧边。

8.根据权利要求7所述的硅片输送载具，其特征在于，

所述开口槽和所述弯折部在竖直方向上错开设置，以使所述硅片在所述载具中倾斜放置。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的硅片输送载具，其特征在于，

所述支撑板上设有至少一个通孔。

10.一种硅片传送装置，其特征在于，包括：

链条，设有多个连接配合部；和

如权利要求1至9中任一项所述的硅片输送载具，所述载具设置在所述链条上，所述载具的支撑板上的多个连接部与多个所述连接配合部一一对应并相连接。