[实用新型]一种降温装置及降温系统

摘要

本实用新型公开了一种降温装置及降温系统，降温装置包括承载硅片的硅片载具、搬运所述硅片的机械手、安装在所述机械手上对所述硅片表面进行清理及降温的吹气组件、提供高压气体给所述吹气组件的气路组件。本实用新型提出的降温装置及降温系统，其吹气组件固定在机械手上可随着机械手动作，可有效清除硅片表面附着的制绒残液，并使得硅片的温度降低，避免硅片绒面造成局部破坏，有效的提高了产品的质量和可靠性。