[实用新型]一种降温装置及降温系统

权利要求书

1.一种降温装置，其特征在于：包括承载硅片的硅片载具、搬运所述硅片的机械手、安装在所述机械手上对所述硅片表面进行清理及降温的吹气组件、提供高压气体给所述吹气组件的气路组件。

2.根据权利要求1所述的降温装置，其特征在于：所述吹气组件包括位于所述硅片载具上方且固定在所述机械手上的吹气管、设置在所述吹气管上的至少一个进气口和若干个出气口、安装在所述出气口上对所述硅片载具上的硅片表面进行吹气清理及降温的喷气嘴。

3.根据权利要求2所述的降温装置，其特征在于：所述吹气管的两端固定连接有调节板，所述调节板上设有调节孔，所述机械手通过螺栓穿过所述调节孔与所述调节板固定，在所述机械手与所述调节板固定之前，所述螺栓可在所述调节孔范围内移动，从而旋转所述吹气管。

4.根据权利要求3所述的降温装置，其特征在于：所述调节孔为圆弧腰型孔。

5.根据权利要求1所述的降温装置，其特征在于：所述气路组件包括通过管路依次连接的调压阀、气体流量计和电磁阀，所述调压阀的入口通过管路与主气路连接，所述电磁阀的出口通过管路与吹气管上的进气口连接。

6.根据权利要求1所述的降温装置，其特征在于：所述气路组件包括通过管路依次连接的调压阀、储气罐、气体流量计和电磁阀，所述调压阀的入口通过管路与主气路连接，所述电磁阀的出口通过管路与吹气管上的进气口连接。

7.根据权利要求5或6所述的降温装置，其特征在于：所述管路采用耐腐蚀软管。

8.根据权利要求2所述的降温装置，其特征在于：所述吹气管由耐腐蚀厚壁管或由耐腐蚀厚板形成内部空腔制成。

9.根据权利要求2所述的降温装置，其特征在于：所述喷气嘴位于所述吹气管的底端，所述喷气嘴由耐腐蚀材料制成。

10.一种降温系统，其特征在于：所述降温系统包括权利要求1-9任一项所述的降温装置。