[实用新型]一种光刻机光线电磁光闸装置

摘要

本实用新型揭示了一种光刻机光线电磁光闸装置，包括叶板和偏摆驱动机构，偏摆驱动机构包括电磁座和传动轴，电磁座包括导磁外筒、线圈及两端的固定铁芯，其中一个铁芯的外露面设置有涡卷扭簧座，传动轴一端与涡卷扭簧座相配接、另一端穿过电磁座与叶板相连，传动轴上套接有动铁芯，动铁芯与传动轴之间周向锁固轴向滑动配接，动铁芯的轴向两端分别设有倾斜面，任意固定铁芯设有的驱动面。本实用新型采用电磁传动结构实现对叶板的偏摆驱动，相较传统地电机驱动具备响应速度快、位置度精确及使用寿命长的特点。特定螺旋桨结构的动铁芯，具备螺旋扇面，能在限制空间内实现低功率高转矩，电磁吸力稳定可靠，满足风叶偏摆行程需求。