[实用新型]一种光刻机光线电磁光闸装置

权利要求书

1.一种光刻机光线电磁光闸装置，其特征在于：

包括叶板和用于驱动所述叶板往复偏摆的偏摆驱动机构，

所述偏摆驱动机构包括电磁座和传动轴，

其中，所述电磁座包括具备中空腔室的导磁外筒，所述中空腔室内设有用于电磁转换的线圈，中空腔室的两端分别设有固定铁芯，任意所述固定铁芯设有轴承，并且其中一个所述固定铁芯的外露面设置有涡卷扭簧座，

所述传动轴一端与所述涡卷扭簧座相配接、另一端穿过所述电磁座与所述叶板相连，传动轴与任意所述轴承相旋转活动配接，

所述传动轴上套接有位于所述中空腔室内的动铁芯，所述动铁芯与所述传动轴之间周向锁固轴向滑动配接，

所述动铁芯的轴向两端分别设有倾斜面，任意所述固定铁芯设有朝向所述动铁芯的用于驱动所述动铁芯旋转的驱动面，并且两个所述固定铁芯的旋转驱动方向同向。

2.根据权利要求1所述一种光刻机光线电磁光闸装置，其特征在于：

所述动铁芯呈螺旋桨结构，所述动铁芯任意桨叶的轴向端面呈螺旋扇面。