[实用新型]一种薄膜蒸镀设备载板

摘要

本实用新型公开了一种薄膜蒸镀设备载板，包括基板，基板内设置有夹层，夹层内设置有真空绝热板，真空绝热板均匀铺设在夹层内且与夹层内壁固定连接，基板内设置有环绕层，环绕层位于基板和夹层之间，环绕层内设置有石墨板，石墨板的外表面与环绕层的内壁固定连接，石墨板与真空绝热板之间设置有通孔，通孔设置有多个，多个通孔之间均设置有间距，多个通孔均呈圆柱形结构设置，且多个通孔直径均相一致，多个通孔的两端均与相对应的石墨板和真空绝热板相连通，与基板相匹配的设置有清理装置，清理装置包括承接板、挡板。本实用新型具有预热能力强，使用完成后方便清理的有益效果，其主要用于薄膜蒸镀。