[实用新型]一种薄膜蒸镀设备载板

权利要求书

1.一种薄膜蒸镀设备载板，包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)内设置有夹层，所述夹层内设置有真空绝热板(2)，所述真空绝热板(2)均匀铺设在所述夹层内且与所述夹层内壁固定连接，所述基板(1)内设置有环绕层，所述环绕层位于所述基板(1)和所述夹层之间，所述环绕层内设置有石墨板(3)，所述石墨板(3)的外表面与所述环绕层的内壁固定连接，所述石墨板(3)与所述真空绝热板(2)之间设置有通孔(4)，所述通孔(4)设置有多个，多个所述通孔(4)之间均设置有间距，多个所述通孔(4)均呈圆柱形结构设置，且多个所述通孔(4)直径均相一致，多个所述通孔(4)的两端均与相对应的所述石墨板(3)和所述真空绝热板(2)相连通；

与所述基板(1)相匹配的设置有清理装置，所述清理装置包括承接板(5)、挡板(6)，所述承接板(5)与所述薄膜蒸镀设备(11)固定连接且呈倾斜结构，所述承接板(5)向下倾斜一端设置有所述挡板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀设备载板，其特征在于：与所述基板(1)相匹配的设置有真空加热器。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀设备载板，其特征在于：所述基板(1)顶面和底面均呈平面结构设置。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀设备载板，其特征在于：所述基板(1)的长度、宽度与所述薄膜蒸镀设备(11)的镀膜室的长度、宽度相匹配设置。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀设备载板，其特征在于：所述清理装置还包括高压气泵(7)、空气喷嘴(8)，所述高压气泵(7)的出气口固定连接有输气管道(9)，所述输气管道(9)另一端与所述空气喷嘴(8)固定连接，所述输气管道(9)上设置有高压气阀(10)。

6.根据权利要求5所述的一种薄膜蒸镀设备载板，其特征在于：所述高压气泵(7)与所述薄膜蒸镀设备(11)固定连接，且所述高压气泵(7)底面与所述薄膜蒸镀设备(11)的底面呈同一水平面设置。