[实用新型]一种薄膜蒸镀设备载板

说明书

本实用新型公开了一种薄膜蒸镀设备载板，包括基板，基板内设置有夹层，夹层内设置有真空绝热板，真空绝热板均匀铺设在夹层内且与夹层内壁固定连接，基板内设置有环绕层，环绕层位于基板和夹层之间，环绕层内设置有石墨板，石墨板的外表面与环绕层的内壁固定连接，石墨板与真空绝热板之间设置有通孔，通孔设置有多个，多个通孔之间均设置有间距，多个通孔均呈圆柱形结构设置，且多个通孔直径均相一致，多个通孔的两端均与相对应的石墨板和真空绝热板相连通，与基板相匹配的设置有清理装置，清理装置包括承接板、挡板。本实用新型具有预热能力强，使用完成后方便清理的有益效果，其主要用于薄膜蒸镀。

技术领域

本实用新型涉及薄膜制备技术领域，具体的说是一种薄膜蒸镀设备载板。

背景技术

真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法，蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合，真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤，但现有的蒸镀用载板，在使用时，会造成预热能力差，使用完成后清理麻烦的问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型目的是提供一种预热能力强，使用完成后方便清理的薄膜蒸镀设备载板。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：一种薄膜蒸镀设备载板，包括基板，所述基板内设置有夹层，所述夹层内设置有真空绝热板，所述真空绝热板均匀铺设在所述夹层内且与所述夹层内壁固定连接，所述基板内设置有环绕层，所述环绕层位于所述基板和所述夹层之间，所述环绕层内设置有石墨板，所述石墨板的外表面与所述环绕层的内壁固定连接，所述石墨板与所述真空绝热板之间设置有通孔，所述通孔设置有多个，多个所述通孔之间均设置有间距，多个所述通孔均呈圆柱形结构设置，且多个所述通孔直径均相一致，多个所述通孔的两端均与相对应的所述石墨板和所述真空绝热板相连通；

与所述基板相匹配的设置有清理装置，所述清理装置包括承接板、挡板，所述承接板与所述薄膜蒸镀设备固定连接且呈倾斜结构，所述承接板向下倾斜一端设置有所述挡板。

与所述基板相匹配的设置有真空加热器。

所述基板顶面和底面均呈平面结构设置。

所述基板的长度、宽度与所述薄膜蒸镀设备的镀膜室的长度、宽度相匹配设置。

所述清理装置还包括高压气泵、空气喷嘴，所述高压气泵的出气口固定连接有输气管道，所述输气管道另一端与所述空气喷嘴固定连接，所述输气管道上设置有高压气阀。

所述高压气泵与所述薄膜蒸镀设备固定连接，且所述高压气泵底面与所述薄膜蒸镀设备的底面呈同一水平面设置。

本实用新型的有益效果：预热能力强，在对基板进行加热时，热量会传导至石墨板上，并且在石墨板将热量通过通孔传导至真空绝热板时，真空绝热板会隔绝热量，从而会使热量回流并都保留到石墨板上，这时石墨板和外部的热空气协同作用，能够使基板外表面快速预热，使基片的外表面吸附的气体脱附；使用完成后方便清理，使用完成后，将基板放置到承接板上，而承接板与薄膜蒸镀设备固定连接且呈倾斜结构，并且承接板向下倾斜一端设置有挡板，所以基板会呈倾斜结构，之后打开高压气泵，并调节高压气阀，拿取空气喷嘴对基板进行清理，清理完成后即可继续使用。

附图说明

图1为本实用新型结构基板示意图；

图2为本实用新型结构示意图薄膜蒸镀设备和清洗装置示意图。