[实用新型]一种新型超高真空多样品转移装置

摘要

本实用新型涉及新型材料样品真空转移技术领域，公开一种新型超高真空多样品转移装置，包括：超高真空转移腔体，在超高真空转移腔体上设置有至少七个法兰；样品架传输摇动杆与第一法兰密封连接，样品架传输摇动杆的一端设置有用于放置待转移样品的样品托架；在样品托架的一端形成有椭圆凸块；手动真空阀与设于超高真空转移腔体后侧的第七法兰密封连接；密封法兰盘与第三法兰密封连接，在密封法兰盘上设有用于限制样品托架旋转的椭圆凹槽，椭圆凹槽与椭圆凸块配合以固定样品架传输摇动杆；在密封法兰盘上设置了防掉撞针，其用于防止样品托掉落样品托架；真空吸附泵与第四法兰密封连接，其用于维持超高真空转移腔体的真空度。