[实用新型]一种新型超高真空多样品转移装置

权利要求书

1.一种新型超高真空多样品转移装置，其特征在于，包括：

超高真空转移腔体，其形成为圆柱形，在所述超高真空转移腔体上设置有至少七个法兰；

在所述超高真空转移腔体的左侧设有第一法兰及第二法兰；

在所述超高真空转移腔体的右侧设有第三法兰及第四法兰；

在所述超高真空转移腔体的顶部设有第五法兰；

所述第一法兰与所述第三法兰同轴设置，所述第二法兰与所述第四法兰同轴设置，

观察视窗，其设置于所述超高真空转移腔体的顶部及右侧，所述观察视窗分别与第五法兰和所述第四法兰密封连接；

样品传输摇动杆，其与所述超高真空转移腔体前端的第六法兰密封连接；

样品托夹持器，其与延伸至所述超高真空转移腔体内部与所述样品传输摇动杆连接；

样品架传输摇动杆，其与所述第一法兰密封连接，所述样品架传输摇动杆的一端设置有用于放置待转移样品的样品托架；

在所述样品托架的一端形成有椭圆凸块；

手动真空阀，其与设于所述超高真空转移腔体后侧的第七法兰密封连接；

样品吸附泵，其与所述第二法兰密封连接；

密封法兰盘，其与所述第三法兰密封连接，在所述密封法兰盘上设有用于限制所述样品托架旋转的椭圆凹槽，所述椭圆凹槽与所述椭圆凸块配合以固定所述样品架传输摇动杆；

在所述密封法兰盘上设置了防掉撞针，其用于防止样品托掉落所述样品托架；

真空吸附泵，其与所述第四法兰密封连接，其用于维持所述超高真空转移腔体的真空度。

2.根据权利要求1所述的新型超高真空多样品转移装置，其特征在于，所述真空吸附泵及所述手动真空阀水平安装在所述超高真空转移腔体的右侧。

3.根据权利要求2所述的新型超高真空多样品转移装置，其特征在于，在所述样品架传输摆动杆的中间部位设有固定圆环，所述样品传输摇动杆穿过所述固定圆环以固定所述样品架传输摆动杆。

4.根据权利要求3所述的新型超高真空多样品转移装置，其特征在于，所述样品托架上设有横向排布的样品槽，在所述样品槽的内侧形成有导向斜坡，所述导向斜坡用于放置所述样品托。

5.根据权利要求4所述的新型超高真空多样品转移装置，其特征在于，

所述法兰与所述超高真空转移腔体之间设置铜环密封进行密封连接。

6.根据权利要求1或2或5任一项所述的新型超高真空多样品转移装置，其特征在于，还包括法兰盘转换器，所述法兰通过所述法兰盘转换器与所述超高真空转移腔体密封连接。