[实用新型]一种新型超高真空多样品转移装置

说明书

本实用新型涉及新型材料样品真空转移技术领域，公开一种新型超高真空多样品转移装置，包括：超高真空转移腔体，在超高真空转移腔体上设置有至少七个法兰；样品架传输摇动杆与第一法兰密封连接，样品架传输摇动杆的一端设置有用于放置待转移样品的样品托架；在样品托架的一端形成有椭圆凸块；手动真空阀与设于超高真空转移腔体后侧的第七法兰密封连接；密封法兰盘与第三法兰密封连接，在密封法兰盘上设有用于限制样品托架旋转的椭圆凹槽，椭圆凹槽与椭圆凸块配合以固定样品架传输摇动杆；在密封法兰盘上设置了防掉撞针，其用于防止样品托掉落样品托架；真空吸附泵与第四法兰密封连接，其用于维持超高真空转移腔体的真空度。

技术领域

本实用新型涉及新型材料样品真空转移技术领域，更具体地说，涉及一种新型超高真空多样品转移装置。

背景技术

超高真空设备系统在半导体、机械加工、物理、化学、材料和生物科学等各个研究领域都有着广泛的应用。目前，传统的处理方式是在源真空设备系统中在样品表面镀一层保护膜后将样品取出，将样品放入目标真空设备系统中后利用高温将表面的保护膜蒸发后进行测量，但由于样品较薄，这种方法容易对样品造成损伤，而且操作难度大。

另一种解决方式是将样品取出后放入真空样品转移装置，但是这种装置需要一直采用真空离子泵、真空分子泵进行抽真空，需要持续供电，不能满足长途、空运等要求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述样品在不同超高真空系统间转移的缺陷，提供一种真空度维持稳定且操作简便的新型超高真空多样品转移装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种新型超高真空多样品转移装置，包括：

超高真空转移腔体，其形成为圆柱形，在所述超高真空转移腔体上设置有至少七个法兰；

在所述超高真空转移腔体的左侧设有第一法兰及第二法兰；

在所述超高真空转移腔体的右侧设有第三法兰及第四法兰；

在所述超高真空转移腔体的顶部设有第五法兰；

所述第一法兰与所述第三法兰同轴设置，所述第二法兰与所述第四法兰同轴设置，

观察视窗，其设置于所述超高真空转移腔体的顶部及右侧，所述观察视窗分别与第五法兰和所述第四法兰密封连接；

样品传输摇动杆，其与所述超高真空转移腔体前端的第六法兰密封连接；

样品托夹持器，其与延伸至所述超高真空转移腔体内部与所述样品传输摇动杆连接；

样品架传输摇动杆，其与所述第一法兰密封连接，所述样品架传输摇动杆的一端设置有用于放置待转移样品的样品托架；

在所述样品托架的一端形成有椭圆凸块；

手动真空阀，其与设于所述超高真空转移腔体后侧的第七法兰密封连接；

样品吸附泵，其与所述第二法兰密封连接；

密封法兰盘，其与所述第三法兰密封连接，在所述密封法兰盘上设有用于限制所述样品托架旋转的椭圆凹槽，所述椭圆凹槽与所述椭圆凸块配合以固定所述样品架传输摇动杆；

在所述密封法兰盘上设置了防掉撞针，其用于防止样品托掉落所述样品托架；

真空吸附泵，其与所述第四法兰密封连接，其用于维持所述超高真空转移腔体的真空度。

在一些实施例中，所述真空吸附泵及所述手动真空阀水平安装在所述超高真空转移腔体的右侧。

在一些实施例中，在所述样品架传输摆动杆的中间部位设有固定圆环，所述样品传输摇动杆穿过所述固定圆环以固定所述样品架传输摆动杆。