[实用新型]一种粉末磁控溅射仪有效
| 申请号： | 201921911199.8 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN210826336U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 邾根祥;朱沫浥;江晓平;方辉;李东明 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F1/02 |
| 代理公司： | 合肥东邦滋原专利代理事务所(普通合伙) 34155 | 代理人： | 王芸 |
| 地址： | 230088 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种粉末磁控溅射仪，包括石英腔室组件，所述石英腔室组件内部室体的上方设置有二英寸磁控溅射靶头，且石英腔室组件内部室体的下方设置有震动样品台，所述石英腔室组件的正下方设置有电路控制系统，且石英腔室组件的一侧连接设置有真空泵，所述二英寸磁控溅射靶头的一端连接设置有水冷设备，先把工作粉料放入震动样品台上,然后闭合石英腔室组件，通过真空泵抽取石英腔室组件内的空气，开启水冷设备，降低二英寸磁控溅射靶头在溅射过程中产生的热量，震动样品台可实现使粉料不停翻滚，通过电路控制系统可以对溅射电流，溅射时间及真空度进行调节控制，从而实现自主对粉料表面进行溅射镀膜包覆的过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粉末 磁控溅射 | ||
【主权项】：
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