[实用新型]一种粉末磁控溅射仪

权利要求书

1.一种粉末磁控溅射仪，包括石英腔室组件(5)，其特征在于：所述石英腔室组件(5)内部室体的上方设置有二英寸磁控溅射靶头(1)，且石英腔室组件(5)内部室体的下方设置有震动样品台(2)，所述石英腔室组件(5)的正下方设置有电路控制系统(4)，且石英腔室组件(5)的一侧连接设置有真空泵(6)，所述二英寸磁控溅射靶头(1)的一端连接设置有水冷设备(3)；

所述石英腔室组件(5)包括下石英室(51)和上石英室(53)，所述下石英室(51)顶部的室体上对称分布设置有两个第一弧型耳板(511)，所述第一弧型耳板(511)上固定设置有活动滑杆(512)，所述活动滑杆(512)的顶部螺纹连接设置有螺纹帽(513)，且活动滑杆(512)上套设有复位弹簧(514)，所述下石英室(51)顶端面的室体上开设有密封圈槽(515)，所述上石英室(53)底部的室体上对称分布设置有两个第二弧型耳板(531)，且上石英室(53)底端面的室体上设置有与密封圈槽(515)相卡合密闭连接的密封圈板(532)，所述下石英室(51)和上石英室(53)之间设置有固定搭扣(52)。

2.根据权利要求1所述的一种粉末磁控溅射仪，其特征在于：所述下石英室(51)通过固定搭扣(52)与上石英室(53)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种粉末磁控溅射仪，其特征在于：所述第二弧型耳板(531)上开设有可供活动滑杆(512)自由滑动的贯通孔。

4.根据权利要求1所述的一种粉末磁控溅射仪，其特征在于：所述复位弹簧(514)的一端抵触在第二弧型耳板(531)上，且复位弹簧(514)的另一端抵触在第一弧型耳板(511)上。

5.根据权利要求1所述的一种粉末磁控溅射仪，其特征在于：所述密封圈槽(515)内设置有密封垫圈。

6.根据权利要求1所述的一种粉末磁控溅射仪，其特征在于：所述二英寸磁控溅射靶头(1)安装在上石英室(53)内，所述震动样品台(2)安装在下石英室(51)内。