[实用新型]石英舟定位装置有效
| 申请号： | 201921894524.4 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN210628267U | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 曹兵;孙贤;乔勇 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 卢春燕 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英舟定位装置，所述石英舟定位装置包括：第一定位装置，所述第二舟脚固定结构与所述第一舟脚固定结构固定连接，所述第一基准部固定在所述第一舟脚固定座上且位于所述第一定位部的远离所述第二舟脚固定结构的一侧，所述第一定位部在所述第一基准部和所述第二舟脚固定结构之间可相对靠近和远离所述第一基准部，所述第一调节部设在所述第二定位部的远离所述第一基准部的一侧，且所述第一调节部和所述第二定位部均可在相互靠近和远离彼此的方向上可移动。根据本实用新型的石英舟定位装置，使石英舟在舟脚出现磨损时同样可以实现准确定位，提高了石英舟定位的准确性，且可以减少第一定位装置的定位调试时间，提升调试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 定位 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
