[实用新型]一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置有效

专利信息
申请号: 201921893024.9 申请日: 2019-11-05
公开(公告)号: CN210379094U 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 曾德栋;鲍亚平;陈议文;崔红云;韩锦明 申请(专利权)人: 海南英利新能源有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/042
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 570000 海南省海口市海口国*** 国省代码: 海南;46
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摘要: 实用新型提供了一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置,包括滚轮,硅片进口位置处设有水膜装置,所述水膜装置包括设置在所述滚轮上方的喷水管,以及与所述喷水管连通的进水管,以及所述喷水管上设置的多个喷水孔,所述喷水孔正对所述滚轮上方通过的硅片喷射。本装置在现有刻蚀设备的基础上进行改造,改造成本低,可以有效提高刻蚀过程的A级品率,为企业减少生产成本。
搜索关键词: 一种 太阳能电池 湿法 刻蚀 简易 装置
【主权项】:
暂无信息
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