[实用新型]一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置有效
| 申请号: | 201921893024.9 | 申请日: | 2019-11-05 |
| 公开(公告)号: | CN210379094U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
| 发明(设计)人: | 曾德栋;鲍亚平;陈议文;崔红云;韩锦明 | 申请(专利权)人: | 海南英利新能源有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/042 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 570000 海南省海口市海口国*** | 国省代码: | 海南;46 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置,包括滚轮,硅片进口位置处设有水膜装置,所述水膜装置包括设置在所述滚轮上方的喷水管,以及与所述喷水管连通的进水管,以及所述喷水管上设置的多个喷水孔,所述喷水孔正对所述滚轮上方通过的硅片喷射。本装置在现有刻蚀设备的基础上进行改造,改造成本低,可以有效提高刻蚀过程的A级品率,为企业减少生产成本。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能电池 湿法 刻蚀 简易 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





