[实用新型]一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置有效
| 申请号: | 201921893024.9 | 申请日: | 2019-11-05 |
| 公开(公告)号: | CN210379094U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
| 发明(设计)人: | 曾德栋;鲍亚平;陈议文;崔红云;韩锦明 | 申请(专利权)人: | 海南英利新能源有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/042 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 570000 海南省海口市海口国*** | 国省代码: | 海南;46 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能电池 湿法 刻蚀 简易 装置 | ||
本实用新型提供了一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置,包括滚轮,硅片进口位置处设有水膜装置,所述水膜装置包括设置在所述滚轮上方的喷水管,以及与所述喷水管连通的进水管,以及所述喷水管上设置的多个喷水孔,所述喷水孔正对所述滚轮上方通过的硅片喷射。本装置在现有刻蚀设备的基础上进行改造,改造成本低,可以有效提高刻蚀过程的A级品率,为企业减少生产成本。
技术领域
本实用新型涉及光伏电池制作技术领域,尤其涉及一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置。
背景技术
太阳能电池作为绿色、环保的新能源受到全世界的广泛关注。全球光伏产业发展非常迅速,国内的光伏产业不断发展壮大。
随着行业的不断发展,客户对电池片的外观要求也越来越高。湿法刻蚀是电池生产环节过程中一个关键步骤,湿法刻蚀过程控制不好,就会产生刻蚀边表面,影响电池片外观。目前行业里湿法刻蚀普遍使用Schmid与Rena两种设备,Schmid湿法刻蚀设备设计安装水膜装置,很好保护硅片表面外观,稳定性较高,但这种设备比较贵,而且耗酸量大,生产成本相对较高,很多厂家不愿意选择该种设备进行生产;Rena湿法刻蚀设备未设计安装水膜装置,设备相对便宜,而且耗酸量小,但由于缺失水膜装置,容易产生大量刻蚀边表面,严重影响电池片外观。厂家后续也开发设计出自己的水膜装置,但是价格比较贵,售价昂贵,不适用于中小企业。
因此,亟需本领域技术员针对现有的RENA刻蚀设备研发一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置,解决现有技术中存在的问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供了一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置,来解决现有技术中存在的问题,具体方案如下:
一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置,包括滚轮,硅片进口位置处设有水膜装置,所述水膜装置包括设置在所述滚轮上方的喷水管,以及与所述喷水管连通的进水管,以及所述喷水管上设置的多个喷水孔,所述喷水孔正对所述滚轮上方通过的硅片喷射。
具体的,所述进水管上还连接有流量控制装置以及压力控制装置。
具体的,所述喷水管还连接有动力旋转装置,所述动力旋转装置可以控制所述喷水管转动,以此来控制所述喷水孔喷射出来的水喷射到所述硅片上表面。
具体的,还包括沿所述硅片的入料方向设置在所述喷水管后方的挤水辊。
具体的,所述挤水辊的中部直径D2与两端直径D1的差值不小于所述硅片的厚度。
具体的,所述挤水辊中部直径D2为30.92mm,所述挤水辊两端直径D1为32mm,所述挤水辊传动轴直径d为9mm,所述挤水辊的两端直径D1的长度L为25mm。
具体的,所述喷水管与所述挤水辊之间的距离为20-40cm。
具体的,所述硅片出口位置处还设有挡板,所述挡板距离通过的所述硅片上方的垂直距离距离D为0.8-1.2cm。
具体的,所述喷水孔的孔径为1mm,孔间距为1-2mm。
具体的,本装置适用于RENA刻蚀设备。
本实用新型提供的光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置具有以下有益效果:在现有刻蚀设备的基础上进行改造,改造成本低,可以有效提高刻蚀过程的A级品率,为企业减少生产成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1本实用新型提供的水膜装置结构示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





