[实用新型]一种半导体清洗用输送机构

摘要

本实用新型公开一种半导体清洗用输送机构，包括支撑机构、限位板和吸附机构，所述限位板的上端面固定连接有支撑机构，且所述支撑机构包括支撑板、连接板、弹簧杆、固定软管和固定座，所述支撑板的上端面均匀等距固定连接有四组连接板。本实用新型通过设置支撑机构，在对晶圆进行清洗完毕后进行输送时，使用者可先将外部真空管螺纹插接在螺纹通气槽中，随后开启外部抽空机构，此时外部操控机构可带动支撑板直至晶圆正上方，随后进行下降，限位环能对晶圆的最外部进行初步定位，提高后续输送的精准度。