[实用新型]一种半导体清洗用输送机构

权利要求书

1.一种半导体清洗用输送机构，其特征在于：包括支撑机构(1)、限位板(2)和吸附机构(3)，

所述限位板(2)的上端面固定连接有支撑机构(1)，且所述支撑机构(1)包括支撑板(101)、连接板(102)、弹簧杆(103)、固定软管(104)和固定座(105)，所述支撑板(101)的上端面均匀等距固定连接有四组连接板(102)，且位于所述支撑板(101)的底端面均匀等距固定连接有四组弹簧杆(103)，且位于所述支撑板(101)的底端面中心处固定连接有固定软管(104)，所述固定软管(104)的底端面固定连接有固定座(105)，

所述限位板(2)的底端面均匀等距固定卡接有吸附机构(3)，且所述限位板(2)包括固定壳体(201)、连接槽(202)、限位环(203)和通气槽(204)，所述固定壳体(201)的上端面四角均开设有连接槽(202)，且位于所述固定壳体(201)的上端面中心处开设有通气槽(204)，所述固定壳体(201)的底端面固定连接有限位环(203)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于：所述吸附机构(3)包括防护筒(301)、滑槽(302)、弹簧垫板(303)、支撑管(304)、吸附垫(305)和密封块(306)，所述防护筒(301)的内端面均匀等距开设有四组滑槽(302)，且位于所述滑槽(302)的内端面滑动卡接有密封块(306)，所述防护筒(301)通过密封块(306)滑动连接在滑槽(302)内部与支撑管(304)进行滑动卡接，且所述防护筒(301)和所述支撑管(304)之间通过弹簧垫板(303)进行弹性固定连接，所述支撑管(304)的底端面固定连接有吸附垫(305)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于：所述弹簧垫板(303)包括用于支撑的弹簧以及对称固定连接在弹簧外端的卡环。

4.根据权利要求2所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于：所述支撑管(304)的外端面靠近中心处固定连接有用于限位的卡板，且所述卡板与弹簧垫板(303)底部进行固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于：所述固定壳体(201)的内端面为中空设置，且位于所述固定壳体(201)的底端面均匀等距开设有固定孔，所述固定孔与吸附机构(3)相适配固定连接。

6.根据权利要求2所述的一种半导体清洗用输送机构，其特征在于：所述支撑板(101)的内端面为中空设置，且位于所述支撑板(101)的顶端面中心处开设有用于连接螺纹通气槽。