[实用新型]一种含氯硅烷废气的处理装置

摘要

本实用新型提供一种含氯硅烷废气的处理装置，涉及废气处理技术领域；其包括包括通过管线依次连接的废气回收单元、废气淋洗单元和废气放空单元，所述废气淋洗单元包括通过管线依次连接的一级洗涤塔和二级洗涤塔，所述一级洗涤塔和二级洗涤塔内均设有喷淋头和与喷淋头连接的进水管线，与一级洗涤塔连接的所述进水管线上设置有断路阀和过滤器，以使废气回收单元回收的含氯硅烷废气经废气淋洗单元淋洗后，并将淋洗后的剩余气体输送至废气放空单元进行排放；通过实施本技术方案，可有效解决现有含氯硅烷废气处理装置存在喷淋头容易堵塞的技术问题，使得喷淋头的喷淋量得以保证，进而使得放空废气符合排放标准，可大幅度降低检修频率和检修成本。