[实用新型]一种含氯硅烷废气的处理装置

权利要求书

1.一种含氯硅烷废气的处理装置，包括通过管线依次连接的废气回收单元、废气淋洗单元和废气放空单元，其特征在于：所述废气淋洗单元包括通过管线依次连接的一级洗涤塔和二级洗涤塔，所述一级洗涤塔和二级洗涤塔内均设有喷淋头和与喷淋头连接的进水管线，与一级洗涤塔连接的所述进水管线上设置有断路阀和过滤器，以使废气回收单元回收的含氯硅烷废气经一级洗涤塔和二级洗涤塔上的喷淋头依次淋洗后，并将淋洗后的剩余气体输送至废气放空单元进行排放。

2.根据权利要求1所述的一种含氯硅烷废气的处理装置，其特征在于：所述废气放空单元配设有气体检测仪和排气阀，所述气体检测仪用于检测待排放气体中检测氯硅烷气体和氯化氢气体的含量。

3.根据权利要求1所述的一种含氯硅烷废气的处理装置，其特征在于：所述断路阀为手动控制阀，所述喷淋头为螺旋喷淋头，所述螺旋喷淋头的出水间隙为8-12mm。

4.根据权利要求1所述的一种含氯硅烷废气的处理装置，其特征在于：所述一级洗涤塔和二级洗涤塔之间设置有输气管线和输液管线，所述输气管线用以将一级洗涤塔内淋洗后的废气输入至二级洗涤塔内，所述输液管线上设置有增压泵，用以将一级洗涤塔内淋洗后的淋洗液通入二级洗涤塔的喷淋头内，对进入二级洗涤塔内的废气进行淋洗。

5.根据权利要求4所述的一种含氯硅烷废气的处理装置，其特征在于：所述输液管线和与所述二级洗涤塔连接的进水管线连通，且在与所述二级洗涤塔连接的进水管线上设置有所述过滤器。

6.根据权利要求5所述的一种含氯硅烷废气的处理装置，其特征在于：还包括废液回收单元，所述废液回收单元通过管线与二级洗涤塔连通，用于回收二级洗涤塔内的淋洗液，并经过现有污水处理装置处理后通入与一级洗涤塔连接的进水管线。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种含氯硅烷废气的处理装置，其特征在于：所述过滤器包括过滤筒体和设于所述过滤筒体上端的过滤盖体，所述过滤筒体内设置有滤芯，且过滤筒体上端的两侧分别设置有进液口和出液口，所述进液口与进液管线连通，所述出液口与所述喷淋头连通，以使淋洗液经过过滤器的滤芯过滤后进入喷淋头内淋洗废气。

8.根据权利要求7所述的一种含氯硅烷废气的处理装置，其特征在于：所述滤芯的上端设有倾斜状的开口，且开口的倾斜面正对于所述进液口；所述滤芯的侧壁覆盖于所述出液口，所述滤芯的过滤孔直径为6.0±0.5mm。

9.根据权利要求8所述的一种含氯硅烷废气的处理装置，其特征在于：所述开口的侧壁上设置有连接板，在过滤筒体的内侧壁上设置有与所述连接板相配合的限位板，且在连接板的上端设置有安装把手，用于将滤芯固定在过滤筒体内。

10.根据权利要求9所述的一种含氯硅烷废气的处理装置，其特征在于：在所述过滤筒体的下端设置有与滤芯底部连通的反洗进口和反洗出口，所述反洗进口和反洗出口均设置有密封法兰，在所述过滤盖体上设置有检查口。