[实用新型]一种含氯硅烷废气的处理装置

说明书

本实用新型提供一种含氯硅烷废气的处理装置，涉及废气处理技术领域；其包括包括通过管线依次连接的废气回收单元、废气淋洗单元和废气放空单元，所述废气淋洗单元包括通过管线依次连接的一级洗涤塔和二级洗涤塔，所述一级洗涤塔和二级洗涤塔内均设有喷淋头和与喷淋头连接的进水管线，与一级洗涤塔连接的所述进水管线上设置有断路阀和过滤器，以使废气回收单元回收的含氯硅烷废气经废气淋洗单元淋洗后，并将淋洗后的剩余气体输送至废气放空单元进行排放；通过实施本技术方案，可有效解决现有含氯硅烷废气处理装置存在喷淋头容易堵塞的技术问题，使得喷淋头的喷淋量得以保证，进而使得放空废气符合排放标准，可大幅度降低检修频率和检修成本。

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种含氯硅烷废气的处理装置。

背景技术

氯硅烷废气包括氮气、氢气、氯化氢气体、氯硅烷气体和B、P等混合杂质；其中B、P等杂质包括：PCl₃(三氯化磷)、PCl₅(五氯化磷)、BCl₅(五氯化硼)和PH₃(磷化氢)，以及B(硼)、P(磷)的氯化物；氯硅烷(chlorosilane)是硅烷(SiH₄)中的氢原子被氯原子取代后的产物，其在含氯量低时为气体，含氯量较高时为液体，通式为SiHnCl₄-n，n＝0，1，2，3；含氯硅烷废气外泄会对环境造成严重污染，由此亟需本领域技术人员研究设计一种含氯硅烷废气处理装置，既能充分回收废气中的氯硅烷资源，又能对废气中无法回收的氯硅烷进行无污染处理。

现有含氯硅烷废气处理装置一般包括依次连接的废气回收单元、废气淋洗单元和废气放空单元，其中废气回收单元用于回收含氯硅烷废气，并将剩余废气输送至废气淋洗单元；废气淋洗单元用于将剩余废气中的余下氯硅烷气体和氯化氢气体淋洗下来，以清除所述剩余废气中的氯硅烷气体和氯化氢气体，并将清除了氯硅烷气体和氯化氢气体的剩余废气输送至废气放空单元；废气放空单元用于将所述清除了氯硅烷气体和氯化氢气体的剩余废气放空。在废气淋洗单元内设有废气淋洗塔，将含氯硅烷废气汇总并送入废气淋洗塔后，经喷淋头喷出的淋洗液将含废气中易溶于水的氯化氢、氯硅烷等淋洗下来，而不溶于水且无污染的氢气和氮气在淋洗后经废气排放口直接放空，淋洗后形成的废液直接运输至废液池。

但本发明人在实施本发明实施例过程中，发现现有含氯硅烷废气的处理过程中至少还存在如下技术问题：现有淋洗液用量巨大，故采用淋洗废气后的淋洗液进行污水处理工序后作为循环液返回至淋洗塔的喷淋头进行喷淋，然而在实际淋洗过程中，频繁出现淋洗塔、管线或喷淋头堵塞问题，影响系统正常运行，导致淋洗后排放废气不合格，尤其是在冬季，检修难度非常大。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中所存在的上述缺陷，提供一种含氯硅烷废气的处理装置，其可有效解决现有喷淋头容易堵塞的问题，即可让含氯硅烷废气得以充分淋洗，以达到合格的排放指标，也可有效降低喷淋系统检修成本。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种含氯硅烷废气的处理装置，包括通过管线依次连接的废气回收单元、废气淋洗单元和废气放空单元，所述废气淋洗单元包括通过管线依次连接的一级洗涤塔和二级洗涤塔，所述一级洗涤塔和二级洗涤塔内均设有喷淋头和与喷淋头连接的进水管线，与一级洗涤塔连接的所述进水管线上设置有断路阀和过滤器，以使废气回收单元回收的含氯硅烷废气经一级洗涤塔和二级洗涤塔上的喷淋头依次淋洗后，并将淋洗后的剩余气体输送至废气放空单元进行排放。

可选地，所述废气放空单元配设有气体检测仪和排气阀，所述气体检测仪用于检测待排放气体中检测氯硅烷气体和氯化氢气体的含量。如此可利用气体检测仪检测经一级洗涤塔和二级洗涤塔上的喷淋头依次淋洗后的废气成分指标，以达到清除氯硅烷气体和氯化氢气体后，再打开排气阀将剩余不溶于水且无污染的氢气和氮气进行排放，可有效监控系统正常运行。