[实用新型]光刻胶烘干装置有效
| 申请号： | 201921844380.1 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN210573184U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 袁元;袁文旭;程潇 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳;高翠花 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种光刻胶烘干装置，用于烘干涂覆在晶圆上的光刻胶，所述光刻胶烘干装置包括：至少一上烘干板、至少一下烘干板及一控制装置；所述上烘干板与所述下烘干板间隔设置，所述晶圆用于设置在所述上烘干板与下烘干板之间；所述控制装置分别与所述上烘干板及所述下烘干板连接，并控制所述上烘干板及所述下烘干板升温，以烘干所述光刻胶。本实用新型的优点在于，晶圆应力释放均匀，避免烘干后的光刻胶翘曲，甚至开裂；加速了自光刻胶中挥发出的溶剂的流动速度，保证了后续制程中形成的晶圆的关键尺寸相对均匀；大大缩短了单个晶圆的加热时间，提高了生产效率，节省了时间成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 烘干 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921844380.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种眼镜倾斜度测量装置
- 下一篇：一种激光反射镜安装架
