[实用新型]光刻胶烘干装置

权利要求书

1.一种光刻胶烘干装置，用于烘干涂覆在晶圆上的光刻胶，其特征在于，所述光刻胶烘干装置包括：

至少一上烘干板、至少一下烘干板及一控制装置；

所述上烘干板与所述下烘干板间隔设置，所述晶圆用于设置在所述上烘干板与下烘干板之间；

所述控制装置分别与所述上烘干板及所述下烘干板连接，并控制所述上烘干板及所述下烘干板升温，以烘干所述光刻胶。

2.根据权利要求1所述的光刻胶烘干装置，其特征在于，所述上烘干板的大小配置为：在垂直所述晶圆的方向，所述上烘干板的正投影适于覆盖所述晶圆的正投影。

3.根据权利要求1所述的光刻胶烘干装置，其特征在于，所述下烘干板的大小配置为：在垂直所述晶圆的方向，所述下烘干板的正投影适于覆盖所述晶圆的正投影。

4.根据权利要求1所述的光刻胶烘干装置，其特征在于，所述上烘干板及所述下烘干板的横截面均为圆形。

5.根据权利要求1所述的光刻胶烘干装置，其特征在于，所述光刻胶烘干装置包括多个层叠设置的上烘干板，在所述上烘干板与下烘干板的排列方向上，所述上烘干板位于所述下烘干板的同一侧。

6.根据权利要求1所述的光刻胶烘干装置，其特征在于，所述光刻胶烘干装置包括多个层叠设置的下烘干板，在所述上烘干板与下烘干板的排列方向上，所述下烘干板位于所述上烘干板的同一侧。

7.根据权利要求1所述的光刻胶烘干装置，其特征在于，所述上烘干板由多个矩阵排布的子块组成，所述子块之间机械连接，所述控制装置能够分别控制所述子块升温。

8.根据权利要求1所述的光刻胶烘干装置，其特征在于，所述下烘干板由多个矩阵排布的子块组成，所述子块之间机械连接，所述控制装置能够分别控制所述子块升温。

9.根据权利要求1～8任意一项所述的光刻胶烘干装置，其特征在于，所述光刻胶烘干装置还包括至少一侧面烘干板，所述侧面烘干板对应所述上烘干板与所述下烘干板之间的间隔设置，所述控制装置与所述侧面烘干板连接，并控制所述侧面烘干板升温，以烘干所述光刻胶。

10.根据权利要求9所述的光刻胶烘干装置，其特征在于，所述侧面烘干板由多个矩阵排布的子块组成，所述子块之间机械连接，所述控制装置能够分别控制所述子块升温。