[实用新型]用于防护罩的瓦、防护罩和沉积设备有效
| 申请号： | 201921823091.3 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN211814626U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 贝克尔·雷蒙;里斯·弗洛里安 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于防护罩的瓦、防护罩和沉积设备，其中所述防护罩被构造为在真空处理腔室中遮罩沉积源的材料。所述瓦包括瓦主体；所述瓦主体的第一侧部，所述第一侧部被构造为面向所述沉积源；所述瓦主体的第二侧部，所述第二侧部与所述第一侧部相对，所述第二侧部具有至少一个用于将所述瓦安装到所述防护罩的凹槽，其中所述第一侧部具有结构化表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 防护罩 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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