[实用新型]用于防护罩的瓦、防护罩和沉积设备

说明书

描述了一种用于防护罩的瓦、防护罩和沉积设备，其中所述防护罩被构造为在真空处理腔室中遮罩沉积源的材料。所述瓦包括瓦主体；所述瓦主体的第一侧部，所述第一侧部被构造为面向所述沉积源；所述瓦主体的第二侧部，所述第二侧部与所述第一侧部相对，所述第二侧部具有至少一个用于将所述瓦安装到所述防护罩的凹槽，其中所述第一侧部具有结构化表面。

技术领域

本公开内容涉及一种用于沉积系统的防护罩，并且涉及被构造用于在一个或多个基板上沉积蒸发材料、特别是有机蒸发材料的沉积系统。本公开内容的实施方式还涉及一种空闲(idle)防护罩，所述空闲防护罩被构造为例如在沉积源的空闲位置中遮罩(shield)、阻挡和/或收集蒸发材料。本公开内容的实施方式还涉及一种具有用于在基板上沉积蒸发材料的沉积系统的沉积设备。进一步的实施方式涉及操作蒸发源的方法、组装空闲防护罩的方法以及操作沉积系统的方法，特别是用于在真空处理腔室中将蒸发材料沉积在基板上的方法。

背景技术

有机蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，其中发光层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管 (OLED)用于制造电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其它手持式装置，例如用于显示信息。OLED也可用于一般空间照明。OLED显示器的颜色、亮度和视角的范围可能会比传统的LCD显示器的更大，因为OLED像素直接发光而不涉及背光。因此，OLED显示器的能耗远低于传统LCD显示器的能耗。此外， OLED可以制造到柔性基板上的事实导致了进一步的应用。

通常，将蒸发材料通过蒸气源的一个或多个出口朝向基板引导。例如，蒸气源可以设置有多个喷嘴，所述多个喷嘴被构造用于将蒸发材料的飘出物 (plume)朝向基板引导。蒸气源可以相对于基板移动，用于用蒸发材料涂覆基板。

来自蒸气源的一个或多个蒸气出口的蒸发材料的稳定飘出物可为有益的，以便在基板上沉积具有预定均匀性的材料图案。蒸气源启动后，蒸气源可能需要一些时间才能稳定。因此，可能不期望频繁关闭和启动蒸气源，并且蒸气源也可以在空闲时段保持运转。在这种空闲时段期间，可能存在真空处理腔室的壁可能会被蒸发材料涂覆(“涂洒(sprinklecoating)”)的风险。

此外，可为有益的是相继沉积各种基板，即，在后续基板的处理之间没有不必要的蒸发暂停。例如，蒸发源可以旋转以在第一沉积区域中的基板处理和与第一沉积区域相对的第二沉积区域之间切换。在从第一沉积区域旋转到第二沉积区域的旋转过程中，真空处理腔室的壁也可能被蒸发材料涂覆。

因此，将会有益的是为被构造为以精确方式将蒸发材料沉积在基板上的沉积设备、沉积设备和沉积系统提供空闲防护罩，同时减少在所述设备或系统的表面上的涂洒。

实用新型内容

鉴于上述情况，提供了一种用于被构造为遮罩材料的防护罩的瓦(tile)、一种被构造为遮罩沉积源的材料的防护罩以及一种用于在真空腔室中相继 (subsequently)沉积基板的沉积设备。进一步的优点、特征、方面和细节从所要求保护的范围、说明书和附图中显而易见。

根据一个实施方式，提供了一种用于防护罩的瓦，所述防护罩被构造为在真空处理腔室中遮罩沉积源的材料。所述瓦包括：瓦主体；所述瓦主体的第一侧部，所述第一侧部被构造为面向所述沉积源；所述瓦主体的第二侧部，所述第二侧部与所述第一侧部相对，所述第二侧部具有至少一个用于将所述瓦安装到所述防护罩的凹槽(recess)，其中所述第一侧部具有结构化表面。

根据一些实施方式，结构化表面可包括宏观结构(macro-structure)和微观结构(micro-structure)。因此，可以减少材料的剥落。

宏观结构可以包括铣削(milled)结构。例如，铣削结构可以是钻石形的 (diamondshaped)。

微观结构可以是喷砂(blasted)结构。