[实用新型]用于防护罩的瓦、防护罩和沉积设备有效
| 申请号： | 201921823091.3 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN211814626U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 贝克尔·雷蒙;里斯·弗洛里安 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 防护罩 沉积 设备 | ||
1.一种用于防护罩的瓦，所述防护罩被构造为在真空处理腔室中遮罩沉积源的材料，其特征在于，所述瓦包括：
瓦主体；
所述瓦主体的第一侧部，所述第一侧部被构造为面向所述沉积源；以及
所述瓦主体的第二侧部，所述第二侧部与所述第一侧部相对，所述第二侧部具有至少一个凹槽，所述凹槽用于将所述瓦安装到所述防护罩，
其中所述第一侧部具有结构化表面。
2.根据权利要求1所述的瓦，其特征在于，所述结构化表面包括宏观结构和微观结构。
3.根据权利要求2所述的瓦，其特征在于，所述宏观结构包括铣削结构。
4.根据权利要求3所述的瓦，其特征在于，所述铣削结构是钻石形的。
5.根据权利要求2所述的瓦，其特征在于，所述微观结构是喷砂结构。
6.根据权利要求3所述的瓦，其特征在于，所述微观结构是喷砂结构。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的瓦，其特征在于，所述第一侧部没有开口并且其中所述凹槽朝向所述第一侧部闭合。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的瓦，其特征在于，所述瓦还包括：
瓦主体的侧表面，所述侧表面包括第一侧表面、第二侧表面、第三侧表面和第四侧表面，所述侧表面连接所述瓦主体的所述第一侧部和所述瓦主体的所述第二侧部，其中至少两个侧表面包括凹槽和凸部至少之一，所述凹槽和凸部被构造为用于使所述瓦与相邻瓦重叠。
9.根据权利要求7所述的瓦，其特征在于，所述瓦还包括：
瓦主体的侧表面，所述侧表面包括第一侧表面、第二侧表面、第三侧表面和第四侧表面，所述侧表面连接所述瓦主体的所述第一侧部和所述瓦主体的所述第二侧部，其中至少两个侧表面包括凹槽和凸部至少之一，所述凹槽和凸部被构造为用于使所述瓦与相邻瓦重叠。
10.根据权利要求1至6中任一项所述的瓦，其特征在于，所述第二侧部的所述至少一个凹槽是锁眼槽。
11.根据权利要求7所述的瓦，其特征在于，所述第二侧部的所述至少一个凹槽是锁眼槽。
12.根据权利要求10所述的瓦，其特征在于，所述至少一个凹槽是一个或多个图案的锁眼槽。
13.根据权利要求12所述的瓦，其特征在于，所述一个或多个图案是矩形。
14.根据权利要求10所述的瓦，其特征在于，对应于所述瓦的拐角设置至少4个锁眼槽。
15.根据权利要求10所述的瓦，其特征在于，两个相邻锁眼槽的距离为18cm或更小。
16.根据权利要求14所述的瓦，其特征在于，两个相邻锁眼槽的距离为18cm或更小。
17.根据权利要求1至6中任一项所述的瓦，其特征在于，所述瓦的宽度和高度的纵横比为1:4至4:1。
18.根据权利要求7所述的瓦，其特征在于，所述瓦的宽度和高度的纵横比为1:4至4:1。
19.根据权利要求8所述的瓦，其特征在于，所述瓦的宽度和高度的纵横比为1:4至4:1。
20.根据权利要求10所述的瓦，其特征在于，所述瓦的宽度和高度的纵横比为1:4至4:1。
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