[实用新型]半导体封装结构的晶片研磨装置有效

专利信息
申请号: 201921821762.2 申请日: 2019-10-28
公开(公告)号: CN210909500U 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 李国琪 申请(专利权)人: 湖北方晶电子科技有限责任公司
主分类号: B24B37/00 分类号: B24B37/00;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34
代理公司: 宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 42226 代理人: 夏冬玲
地址: 443699 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开了一种半导体封装结构的晶片研磨装置,它包括传送带,所述传送带环绕转轮与转轮配合;转轮通过转轴与支架连接,支架底部连接有底座;支架顶部与顶板连接,顶板下表面连接有研磨装置;传送带上表面铺设有多个晶片盒连接成的运输板与研磨装置配合。该装置通过将晶圆材料放置在集合了限位功能的晶片盒内,利用高度可调节的研磨装置对晶片进行研磨,并且增设了高度监控装置和厚度控制设备,解决了现有技术效率较低的问题,具有结构简单,效率较高的特点。
搜索关键词: 半导体 封装 结构 晶片 研磨 装置
【主权项】:
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