[实用新型]一种多晶硅生产用新型尾气罐

摘要

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，公开了一种多晶硅生产用新型尾气罐，所述罐体的外表面套接在支座的内部，且罐体的上表面固定安装有尾气出口，所述尾气出口与罐体为互通结构，且尾气出口的底部连接有分解装置，所述罐体外表面通过焊接有回收组件，本实用新型采用的分解装置，通过在罐体内部中心处设置的隔板，将罐体内部分解为两个区域，含氮尾气通过含氮气进管汇聚至罐体内部的含氮区域，然后经冷凝层将含氮尾气中的氯硅烷冷凝为液相，其他气体通过喷淋管下表面的喷嘴进行淋洗，最终将分离后的氢气、氮气的混合气通过尾气出口放空至大气，该设计达到了工艺简单、高效、降低运行成本的目的。