[实用新型]一种多晶硅生产用新型尾气罐

说明书

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，公开了一种多晶硅生产用新型尾气罐，所述罐体的外表面套接在支座的内部，且罐体的上表面固定安装有尾气出口，所述尾气出口与罐体为互通结构，且尾气出口的底部连接有分解装置，所述罐体外表面通过焊接有回收组件，本实用新型采用的分解装置，通过在罐体内部中心处设置的隔板，将罐体内部分解为两个区域，含氮尾气通过含氮气进管汇聚至罐体内部的含氮区域，然后经冷凝层将含氮尾气中的氯硅烷冷凝为液相，其他气体通过喷淋管下表面的喷嘴进行淋洗，最终将分离后的氢气、氮气的混合气通过尾气出口放空至大气，该设计达到了工艺简单、高效、降低运行成本的目的。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体是一种多晶硅生产用新型尾气罐。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅，在多晶硅的生产过程中，主要产生的有氢气、氮气、氯化氢、氯硅烷，这些合成尾气进入尾气罐，经过尾气罐的处理从而吸收还原尾气中的氯化氢。

但是，传统的尾气罐将含氮尾气与不含氮尾气混合进入，两种尾气无法分解，造成的资源浪费严重，运行成本较高，且在尾气罐处理过程中，尾气中的氯硅烷不能得到资源有效的最大利用，因此，本领域技术人员提供了一种多晶硅生产用新型尾气罐，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅生产用新型尾气罐，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种多晶硅生产用新型尾气罐，包括尾气出口、罐体和支座，所述罐体的外表面套接在支座的内部，且罐体的上表面固定安装有尾气出口，所述尾气出口与罐体为互通结构，且尾气出口的底部连接有分解装置，所述罐体外表面通过焊接有回收组件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述回收组件包括不含氮气进管、支架、氯化氢压缩机、第二连接管、压缩室和冷凝层，所述罐体的底部一侧表面开设有不含氮气进管，且罐体的一侧表面固定连接在第二连接管的一端，所述第二连接管的另一端连接在氯化氢压缩机的外表面，所述罐体和氯化氢压缩机的连接处通过支架焊接固定，所述罐体的内部靠近支座的上方开设有冷凝层，所述冷凝层的上方固定安装有压缩室。

作为本实用新型再进一步的方案：所述支架的数量为两个，且支架均垂直焊接在氯化氢压缩机的外表面，所述氯化氢压缩机与第二连接管为互通结构，所述压缩室与冷凝层、支架与第二连接管均为上下平行结构。

作为本实用新型再进一步的方案：所述分解装置包括第一连接管、氯硅烷输送泵、含氮气进管、喷淋管、喷嘴和隔板，所述氯硅烷输送泵的顶端连接在第一连接管的一端，所述第一连接管的另一端连接有喷淋管，所述喷淋管的下表面开设有喷嘴，所述第一连接管贯穿罐体的一侧表面，所述罐体的内部中心处开设有隔板，且罐体的底部另一侧表面开设有含氮气进管。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一连接管的半径与喷淋管的半径相等，所述喷淋管为半环形结构，所述第一连接管与喷淋管为互通结构，所述喷淋管与喷嘴为一体式结构，所述喷嘴的数量为五个，且喷嘴均匀分布在喷淋管的下表面。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一连接管的半径大于含氮气进管的半径，且第一连接管与含氮气进管为平行设置，所述第一连接管垂直贯穿罐体的一侧表面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型设置的回收装置，通过在罐体内部设置的冷凝层和压缩室，以及通过支架固定在罐体外表面的压缩机，不含氮尾气通过不含氮气进管汇聚至罐体内部，然后将尾气中的氯硅烷回收至冷凝层，未冷凝下来的不凝气输送至压缩室内通过第二连接管输送至氯化氢压缩机，作为三氯氢硅生产原料，在节约运行成本的同时增加了单位时间原料的产出，提升了效率。