[实用新型]一种多晶硅生产用新型尾气罐

权利要求书

1.一种多晶硅生产用新型尾气罐，包括尾气出口(1)、罐体(2)和支座(5)，其特征在于，所述罐体(2)的外表面套接在支座(5)的内部，且罐体(2)的上表面固定安装有尾气出口(1)，所述尾气出口(1)与罐体(2)为互通结构，且尾气出口(1)的底部连接有分解装置(3)，所述罐体(2)外表面通过焊接有回收组件(10)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用新型尾气罐，其特征在于，所述回收组件(10)包括不含氮气进管(8)、支架(9)、氯化氢压缩机(11)、第二连接管(12)、压缩室(13)和冷凝层(14)，所述罐体(2)的底部一侧表面开设有不含氮气进管(8)，且罐体(2)的一侧表面固定连接在第二连接管(12)的一端，所述第二连接管(12)的另一端连接在氯化氢压缩机(11)的外表面，所述罐体(2)和氯化氢压缩机(11)的连接处通过支架(9)焊接固定，所述罐体(2)的内部靠近支座(5)的上方开设有冷凝层(14)，所述冷凝层(14)的上方固定安装有压缩室(13)。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅生产用新型尾气罐，其特征在于，所述支架(9)的数量为两个，且支架(9)均垂直焊接在氯化氢压缩机(11)的外表面，所述氯化氢压缩机(11)与第二连接管(12)为互通结构，所述压缩室(13)与冷凝层(14)、支架(9)与第二连接管(12)均为上下平行结构。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用新型尾气罐，其特征在于，所述分解装置(3)包括第一连接管(4)、氯硅烷输送泵(6)、含氮气进管(7)、喷淋管(16)、喷嘴(17)和隔板(15)，所述氯硅烷输送泵(6)的顶端连接在第一连接管(4)的一端，所述第一连接管(4)的另一端连接有喷淋管(16)，所述喷淋管(16)的下表面开设有喷嘴(17)，所述第一连接管(4)贯穿罐体(2)的一侧表面，所述罐体(2)的内部中心处开设有隔板(15)，且罐体(2)的底部另一侧表面开设有含氮气进管(7)。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅生产用新型尾气罐，其特征在于，所述第一连接管(4)的半径与喷淋管(16)的半径相等，所述喷淋管(16)为半环形结构，所述第一连接管(4)与喷淋管(16)为互通结构，所述喷淋管(16)与喷嘴(17)为一体式结构，所述喷嘴(17)的数量为五个，且喷嘴(17)均匀分布在喷淋管(16)的下表面。

6.根据权利要求4所述的一种多晶硅生产用新型尾气罐，其特征在于，所述第一连接管(4)的半径大于含氮气进管(7)的半径，且第一连接管(4)与含氮气进管(7)为平行设置，所述第一连接管(4)垂直贯穿罐体(2)的一侧表面。