[实用新型]一种具有清洗功能的晶圆研磨设备有效
| 申请号： | 201921762462.1 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN211163353U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 陆孙华 | 申请（专利权）人： | 苏州英尔捷微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B37/10;B24B37/30;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 吴东勤 |
| 地址： | 215228 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有清洗功能的晶圆研磨设备，包括顶板、漏斗盘、连接挡板、水箱外壳和喷水件，顶板通过第二伸缩柱与第三支撑杆固定连接，第三支撑杆与水箱外壳固定连接，水箱外壳与连接挡板固定连接，水箱外壳的内腔中滤水件的右侧为净水腔，净水腔内放置有潜水泵，潜水泵通过第一水管与连接水管底座相互连通，连接水管底座通过第一水管与喷水件相互连通，连接挡板通过第一支撑杆与漏斗盘固定连接。本实用新型解决了只能对单一的晶圆进行加工研磨，以及在放置晶圆时往往存在偏差错位，进而导致吸板不能将晶圆牢牢吸紧，在研磨时晶圆容易抛飞，同时传统的晶圆研磨设备只能进行简单的冲洗，并不能有效的对晶圆表面进行清洗的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 清洗 功能 研磨 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州英尔捷微电子股份有限公司，未经苏州英尔捷微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921762462.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有环保功能的防堵墨盒
- 下一篇：一种机械加工用钢管打磨装置
