[实用新型]一种具有清洗功能的晶圆研磨设备

权利要求书

1.一种具有清洗功能的晶圆研磨设备，包括顶板(1)、漏斗盘(3)、连接挡板(6)、水箱外壳(10)和喷水件(20)，其特征在于：所述顶板(1)的下部通过第二伸缩柱(31)与第三支撑杆(30)的顶部固定连接，所述第三支撑杆(30)的底部与水箱外壳(10)底部的外壁固定连接，所述水箱外壳(10)的上部与连接挡板(6)的底部固定连接，所述水箱外壳(10)的内腔中设置有滤水件(8)，所述滤水件(8)的左右两侧与水箱外壳(10)的内壁固定连接，所述水箱外壳(10)的内腔中滤水件(8)的右侧为净水腔(12)，所述水箱外壳(10)的内腔中滤水件(8)的左侧为污水腔(13)，所述净水腔(12)内放置有潜水泵(11)，所述潜水泵(11)通过第一水管(9)与连接水管底座(7)的下部相互连通，所述连接水管底座(7)与连接挡板(6)固定连接，所述连接水管底座(7)的上部通过第一水管(9)与喷水件(20)相互连通，所述连接挡板(6)的上部通过第一支撑杆(16)与漏斗盘(3)固定连接，所述顶板(1)的下部通过第一连接杆(22)与第一连接件(33)固定连接，所述第一连接件(33)内设置的第二齿轮(44)与第一连接柱(45)的顶端固定连接，所述第一连接柱(45)与第二连接杆(47)的一端固定连接，所述第二连接杆(47)的另一端与无刷电机(23)固定连接，所述无刷电机(23)为三个，三个所述无刷电机(23)的输出轴上分别固定连接有抛光磨轮(24)、粗砂磨轮(25)和细砂磨轮(32)。

2.根据权利要求1所述的一种具有清洗功能的晶圆研磨设备，其特征在于：所述第一连接件(33)内设置有第一齿轮(43)、第二齿轮(44)和轴承(46)，所述顶板(1)的下部固定连接有减速电机(2)，所述减速电机(2)的输出轴与第一齿轮(43)固定连接，所述第一齿轮(43)与第二齿轮(44)啮合连接，所述轴承(46)与第一连接件(33)固定连接，所述第一连接柱(45)与轴承(46)套合连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有清洗功能的晶圆研磨设备，其特征在于：所述水箱外壳(10)的外壁上固定连接有开关(27)、隔膜泵(29)和观察窗(48)，所述隔膜泵(29)与水箱外壳(10)中的污水腔(13)相互连通，所述隔膜泵(29)的出水管上固定连接有阀门(28)。

4.根据权利要求1所述的一种具有清洗功能的晶圆研磨设备，其特征在于：所述连接挡板(6)的上部固定连接有挡水板(26)，所述连接挡板(6)的上部固定连接有真空泵(5)，所述真空泵(5)通过第一气管(35)与连接气管件(15)相互连通，所述连接气管件(15)与吸板(21)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种具有清洗功能的晶圆研磨设备，其特征在于：所述吸板(21)通过第一伸缩柱(4)与连接挡板(6)伸缩连接，所述吸板(21)与第一伸缩柱(4)的上部固定连接，所述第一伸缩柱(4)的下部与连接挡板(6)固定连接，所述吸板(21)上设置有吸孔(34)，所述连接挡板(6)上设置有漏水口(14)。

6.根据权利要求1所述的一种具有清洗功能的晶圆研磨设备，其特征在于：所述连接挡板(6)通过第二支撑杆(17)与支承板(18)固定连接，所述支承板(18)与连接夹板(19)固定连接，所述连接夹板(19)通过转轴与喷水件(20)转动连接。

7.根据权利要求1所述的一种具有清洗功能的晶圆研磨设备，其特征在于：所述喷水件(20)包括连接转轴(36)、喷嘴(37)、弹力球(38)、调节手杆(39)、第二水管(40)和喷水外壳(42)，所述喷水外壳(42)的内壁通过第二水管(40)与喷嘴(37)相互连通，所述喷嘴(37)通过连接转轴(36)与喷水外壳(42)转动连接，所述喷水外壳(42)与调节手杆(39)螺纹连接，所述调节手杆(39)的顶端固定连接有弹力球(38)。