[实用新型]一种基于孔径仪的晶圆测量装置有效
| 申请号： | 201921753252.6 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN210375076U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 张瑶瑶;胡冬冬;李娜;侯永刚;程实然;王铖熠;刘海洋;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/14 | 分类号： | G01B21/14 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 彭英 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于孔径仪的晶圆测量装置，包括孔径仪和晶圆自动定位机构，所述晶圆自动定位机构用于将晶圆定位输送至孔径仪的测量点；所述晶圆自动定位机构包括水平的X向电缸；X向电缸包括沿X向直线往复动作的X向动作件；水平的Y向电缸；Y向电缸固定在X向动作件上；Y向电缸包括沿Y向直线往复动作的Y向动作件；Z向升降底座；Z向升降底座固定在Y向直线往复动作件上端；Z向升降底座可沿Z向直线升降；Z向升降底座上固定有水平的定位板；定位板上方放置有载片台；定位板上设置有多个螺纹通孔；每个螺纹通孔由下端旋入一个螺栓。本实用新型能够自动将晶圆定位至孔径仪的测量点，提高了孔径仪测量晶圆的准确性，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 孔径 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏鲁汶仪器有限公司，未经江苏鲁汶仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921753252.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种温度探测仪的探针安装结构
- 下一篇：一种变速箱总成测试装置
