[实用新型]一种基于孔径仪的晶圆测量装置

权利要求书

1.一种基于孔径仪的晶圆测量装置，包括孔径仪，其特征在于：还包括晶圆自动定位机构，所述晶圆自动定位机构用于将晶圆定位输送至孔径仪的测量点；所述晶圆自动定位机构包括水平的X向电缸；所述X向电缸包括沿X向直线往复动作的X向动作件（7）；

水平的Y向电缸；所述Y向电缸固定在X向动作件上；所述Y向电缸包括沿Y向直线往复动作的Y向动作件（14）；其中Y向垂直于X向；

Z向升降底座（23）；所述Z向升降底座（23）固定在Y向动作件（14）上端；所述Z向升降底座（23）可沿Z向直线升降；Z向垂直于X向，且Z向垂直于Y向；

所述Z向升降底座（23）上固定有水平的定位板（21）；所述定位板（21）上方放置有载片台（10）；所述载片台（10）的底部设置有多个盲孔；所述定位板（21）上设置有多个螺纹通孔；所述多个螺纹通孔一一对应位于多个盲孔的正下方，且螺纹通孔的螺纹外径小于盲孔直径；每个所述螺纹通孔由下端旋入一个螺栓（11）；每个所述螺栓（11）伸入一个盲孔，并与盲孔的顶壁相接。

2.根据权利要求1所述的基于孔径仪的晶圆测量装置，其特征在于：所述载片台内部设置有冷却水循环管路（30）；外接冷却水由冷却水循环管路（30）的进水口进入冷却水循环管路（30），由冷却水循环管路（30）的出水口流出。

3.根据权利要求2所述的基于孔径仪的晶圆测量装置，其特征在于：所述载片台（10）与定位板（21）之间设置有隔热板（20）。

4.根据权利要求3所述的基于孔径仪的晶圆测量装置，其特征在于：所述载片台（10）用于放置晶圆的上端面设置有若干同圆心、不同直径的圆形凹槽（29）；所述圆形凹槽（29）用于嵌入对应直径的晶圆。

5.根据权利要求4所述的基于孔径仪的晶圆测量装置，其特征在于：所述圆形凹槽（29）的外缘与载片台（10）的外缘之间设置有用于取片的直线凹槽（28）。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的基于孔径仪的晶圆测量装置，其特征在于：所述X向电缸还包括X向电机（24）和X向丝杠；所述X向动作件（7）螺纹套装在X向丝杠外；所述X向电机（24）驱动X向丝杠旋转；X向丝杠旋转带动X向动作件（7）沿X向丝杠直线往复动作；

所述Y向电缸还包括Y向电机（18）和Y向丝杠；所述Y向动作件（14）螺纹套装在Y向丝杠外；所述Y向电机（18）驱动Y向丝杠旋转；Y向丝杠旋转带动Y向动作件（14）沿Y向丝杠直线往复动作。

7.根据权利要求6所述的基于孔径仪的晶圆测量装置，其特征在于：还包括PLC控制系统（27）、X向电机控制器（25）和Y向电机控制器（26）；所述PLC控制系统（27）输出控制信号至X向电机控制器（25），X向电机控制器（25）输出控制信号控制X向电机（24）动作；所述PLC控制系统（27）输出控制信号至Y向电机控制器（26），Y向电机控制器（26）输出控制信号控制Y向电机（18）动作。

8.根据权利要求7所述的基于孔径仪的晶圆测量装置，其特征在于：还包括用于铺设电缆和外接冷却水管路的拖链；所述拖链包括沿X向布置的X向拖链（5）和沿Y向布置的Y向拖链（13）。