[实用新型]一种新型光刻膜加工用厚度检测装置有效

专利信息
申请号: 201921752301.4 申请日: 2019-10-18
公开(公告)号: CN210400241U 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 高凡 申请(专利权)人: 昆山百利合电子材料有限公司
主分类号: G01B5/06 分类号: G01B5/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种新型光刻膜加工用厚度检测装置,所述尺架的前端端面连接有隔热垫,所述尺架的中间偏左位置处连接有测砧,所述测砧的右方在尺架的中间位置处连接有测微螺杆,本实用新型有前支撑柱、后支撑柱、套管和伸缩管组成的支撑装置,采用前支撑柱和后支撑柱来支撑厚度检测装置,能很好的使厚度检测装置在桌面上立起,避免了物体掉落造成的麻烦,同时微分筒和前支撑柱上的螺纹也使厚度检测装置能够进行正常的测量,本实用新型有上卡扣、支撑脚、下卡扣、柱体和万向轴组成的前支撑柱,采用上卡扣和下卡扣来卡住支撑脚能很好的固定支撑脚,在支撑脚使用时能正常支撑,保证正常使用的同时减少了所占空间。
搜索关键词: 一种 新型 光刻 工用 厚度 检测 装置
【主权项】:
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