[实用新型]一种新型光刻膜加工用厚度检测装置

权利要求书

1.一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，包括尺架（1）和隔热垫（8），其特征在于：所述尺架（1）的前端端面连接有隔热垫（8），所述尺架（1）的中间偏左位置处连接有测砧（2），所述测砧（2）的右方在尺架（1）的中间位置处连接有测微螺杆（3），所述隔热垫（8）的上方在尺架（1）的前端端面位置处连接有锁紧装置（4），所述尺架（1）的右端端面连接有固定套筒（5），所述固定套筒（5）的外表面套接有微分筒（6），所述微分筒（6）的右端端面连接有测力装置（7），所述微分筒（6）和测力装置（7）的外表面套接有支撑装置（9），所述支撑装置（9）包括前支撑柱（91）、后支撑柱（92）、套管（93）和伸缩管（94），所述套管（93）的上端端面偏右位置处连接有前支撑柱（91），所述套管（93）的右端端口套接有伸缩管（94），所述伸缩管（94）的上端端面偏上位置处连接有后支撑柱（92）。

2.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述前支撑柱（91）包括上卡扣（911）、支撑脚（912）、下卡扣（913）、柱体（914）和万向轴（915），所述柱体（914）的左端和右端端面连接有万向轴（915），所述万向轴（915）的表面连接有支撑脚（912），所述支撑脚（912）的中间连接有上卡扣（911），所述支撑脚（912）的下端端面连接有下卡扣（913）。

3.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述微分筒（6）的表面偏右位置处设置有螺纹，所述微分筒（6）的表面偏左位置处设置有刻度。

4.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述套管（93）的左端端面连接在尺架（1）的表面，所述套管（93）的内部中空，所述伸缩管（94）可在套管（93）的内部左右移动。

5.根据权利要求2所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述柱体（914）的左端和右端端面设置有卡槽能卡住上卡扣（911）和下卡扣（913），所述支撑脚（912）可通过万向轴（915）相对于柱体（914）进行转动。

6.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述固定套筒（5）的表面设置有刻度，所述微分筒（6）可相对于固定套筒（5）进行转动，所述微分筒（6）和测力装置（7）转动可控制测微螺杆（3）的左右移动。

7.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述前支撑柱（91）的左端端面偏上位置处设置有开口且开口内部设置有可以和微分筒（6）表面螺纹咬合的螺纹，所述后支撑柱（92）的左端端面偏上位置处设置有开口且套接在测力装置（7）的表面。