[实用新型]一种新型光刻膜加工用厚度检测装置有效

专利信息
申请号: 201921752301.4 申请日: 2019-10-18
公开(公告)号: CN210400241U 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 高凡 申请(专利权)人: 昆山百利合电子材料有限公司
主分类号: G01B5/06 分类号: G01B5/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 光刻 工用 厚度 检测 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种新型光刻膜加工用厚度检测装置,所述尺架的前端端面连接有隔热垫,所述尺架的中间偏左位置处连接有测砧,所述测砧的右方在尺架的中间位置处连接有测微螺杆,本实用新型有前支撑柱、后支撑柱、套管和伸缩管组成的支撑装置,采用前支撑柱和后支撑柱来支撑厚度检测装置,能很好的使厚度检测装置在桌面上立起,避免了物体掉落造成的麻烦,同时微分筒和前支撑柱上的螺纹也使厚度检测装置能够进行正常的测量,本实用新型有上卡扣、支撑脚、下卡扣、柱体和万向轴组成的前支撑柱,采用上卡扣和下卡扣来卡住支撑脚能很好的固定支撑脚,在支撑脚使用时能正常支撑,保证正常使用的同时减少了所占空间。

技术领域

本实用新型属于测量工具相关技术领域,具体涉及一种新型光刻膜加工用厚度检测装置。

背景技术

光刻膜加工用厚度检测装置即外径千分尺,外径千分尺也叫螺旋测微器,常简称为“千分尺”,它是比游标卡尺更精密的长度测量仪器,精度有0.01mm、0.02mm和0.05mm几种,加上估读的1位,可读取到小数点后第3位(千分位),故称千分尺。

现有的技术存在以下问题:现有的光刻膜加工用厚度检测装置在使用时由于检测时需要用一手扶住厚度检测装置另一手旋转厚度检测装置上的旋钮,而物体由于大小不一很难在厚度检测装置上固定,造成检测物掉落使测量失败。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型光刻膜加工用厚度检测装置,以解决上述背景技术中提出的物体由于大小不一很难在厚度检测装置上固定造成检测物掉落使测量失败的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种新型光刻膜加工用厚度检测装置,包括尺架和隔热垫,所述尺架的前端端面连接有隔热垫,所述尺架的中间偏左位置处连接有测砧,所述测砧的右方在尺架的中间位置处连接有测微螺杆,所述隔热垫的上方在尺架的前端端面位置处连接有锁紧装置,所述尺架的右端端面连接有固定套筒,所述固定套筒的外表面套接有微分筒,所述微分筒的右端端面连接有测力装置,所述微分筒和测力装置的外表面套接有支撑装置,所述支撑装置包括前支撑柱、后支撑柱、套管和伸缩管,所述套管的上端端面偏右位置处连接有前支撑柱,所述套管的右端端口套接有伸缩管,所述伸缩管的上端端面偏上位置处连接有后支撑柱。

优选的,所述前支撑柱包括上卡扣、支撑脚、下卡扣、柱体和万向轴,所述柱体的左端和右端端面连接有万向轴,所述万向轴的表面连接有支撑脚,所述支撑脚的中间连接有上卡扣,所述支撑脚的下端端面连接有下卡扣。

优选的,所述微分筒的表面偏右位置处设置有螺纹,所述微分筒的表面偏左位置处设置有刻度。

优选的,所述套管的左端端面连接在尺架的表面,所述套管的内部中空,所述伸缩管可在套管的内部左右移动。

优选的,所述柱体的左端和右端端面设置有卡槽能卡住上卡扣和下卡扣,所述支撑脚可通过万向轴相对于柱体进行转动。

优选的,所述固定套筒的表面设置有刻度,所述微分筒可相对于固定套筒进行转动,所述微分筒和测力装置转动可控制测微螺杆的左右移动。

优选的,所述前支撑柱的左端端面偏上位置处设置有开口且开口内部设置有可以和微分筒表面螺纹咬合的螺纹,所述后支撑柱的左端端面偏上位置处设置有开口且套接在测力装置的表面。

与现有技术相比,本实用新型提供了一种新型光刻膜加工用厚度检测装置,具备以下有益效果:

1.本实用新型有前支撑柱、后支撑柱、套管和伸缩管组成的支撑装置,采用前支撑柱和后支撑柱来支撑厚度检测装置,能很好的使厚度检测装置在桌面上立起,避免了物体掉落造成的麻烦,同时微分筒和前支撑柱上的螺纹也使厚度检测装置能够进行正常的测量。

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