[实用新型]一种多管芯晶圆测试系统有效
申请号: | 201921743780.3 | 申请日: | 2019-10-17 |
公开(公告)号: | CN211086504U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 何海洋;胡健峰;彭强 | 申请(专利权)人: | 无锡市查奥微电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型属于晶圆检测设备技术领域,尤其为一种多管芯晶圆测试系统,包括主机,所述主机将工作信号通过所述信号发射器A发射到所述信号接收器A和所述信号接收器C上,所述信号接收器A将工作信号传递到所述测试机A上,所述信号接收器C将信号传递到测试机B上,所述测试机A和所述测试机B开始工作,所述操作机A中的所述编码器会将多管芯的位置编码传递到测试机A,所述测试机A将工作信号传递到操作机A上,所述测试机B将工作信号传递到所述操作机B上,所述测试机A会将接受到的编码经处理器发送到解码器上,解码后的位置信息会经处理器分析并下发相应测试动作命令,本实用新型具有一机多控的特点,充分提高了操作者的办事效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 管芯 测试 系统 | ||
【主权项】:
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