[实用新型]一种多管芯晶圆测试系统有效
申请号: | 201921743780.3 | 申请日: | 2019-10-17 |
公开(公告)号: | CN211086504U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 何海洋;胡健峰;彭强 | 申请(专利权)人: | 无锡市查奥微电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/02 |
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地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 管芯 测试 系统 | ||
1.一种多管芯晶圆测试系统,包括主机(2),其特征在于:所述主机(2)将工作信号通过信号发射器A(1)发射到信号接收器A(3)和信号接收器C(10)上,所述信号接收器A(3)将工作信号传递到测试机A(4)上,所述信号接收器C(10)将信号传递到测试机B(11)上,所述测试机A(4)和所述测试机B(11)开始工作,所述测试机A(4)通过电缆(6)与信号发射器B(7)连接,所述测试机B(11)通过所述电缆(6)与信号发射器C(9)连接,所述主机(2)通过所述电缆(6)与信号接收器B(8)连接。
2.根据权利要求1所述的一种多管芯晶圆测试系统,其特征在于:所述测试机A(4)将工作信号传递到操作机A(5)上,所述测试机B(11)将工作信号传递到操作机B(12)上。
3.根据权利要求1所述的一种多管芯晶圆测试系统,其特征在于:操作机A(5)中的编码器(13)会将多管芯的位置编码传递到测试机A(4)。
4.根据权利要求1所述的一种多管芯晶圆测试系统,其特征在于:所述测试机A(4)会将接受到的编码经处理器(15)发送到解码器(16)上,解码后的位置信息会经处理器(15)分析并下发相应测试动作命令。
5.根据权利要求1所述的一种多管芯晶圆测试系统,其特征在于:所述测试机A(4)与操作机A(5)之间通过电缆(6)连接通信,且操作机A(5)中安装有针卡(14)。
6.根据权利要求1所述的一种多管芯晶圆测试系统,其特征在于:所述主机(2)与所述测试机A(4)和所述测试机B(11)之间通过无线连接。
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