[实用新型]一种多管芯晶圆测试系统

说明书

本实用新型属于晶圆检测设备技术领域，尤其为一种多管芯晶圆测试系统，包括主机，所述主机将工作信号通过所述信号发射器A发射到所述信号接收器A和所述信号接收器C上，所述信号接收器A将工作信号传递到所述测试机A上，所述信号接收器C将信号传递到测试机B上，所述测试机A和所述测试机B开始工作，所述操作机A中的所述编码器会将多管芯的位置编码传递到测试机A，所述测试机A将工作信号传递到操作机A上，所述测试机B将工作信号传递到所述操作机B上，所述测试机A会将接受到的编码经处理器发送到解码器上，解码后的位置信息会经处理器分析并下发相应测试动作命令，本实用新型具有一机多控的特点，充分提高了操作者的办事效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测设备技术领域，具体为一种多管芯晶圆测试系统。

背景技术

目前，现有的多管芯晶圆测试系统，多为单人单机操作，易造成人力资源的浪费，无法充分提高人力办事效率。

现有的晶圆测试系统存在以下不足：

1、浪费人力资源，个人办事效率较低，且须操作者实时观察，劳动强度大。

2、现有的多管芯晶圆测试系统多为电缆连接，造成车间电缆布线长、占用空间大的特点，同时当电缆内部损坏时，维修不便。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多管芯晶圆测试系统，解决了单人单机工作的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多管芯晶圆测试系统，包括主机，所述主机将工作信号通过信号发射器A发射到信号接收器A 和信号接收器C上，所述信号接收器A将工作信号传递到测试机A上，所述信号接收器C将信号传递到测试机B上，所述测试机A和所述测试机B开始工作，所述测试机A通过电缆与信号发射器B连接，所述测试机B通过所述电缆与信号发射器C连接，所述主机通过所述电缆与信号接收器B连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述测试机A将工作信号传递到操作机A上，所述测试机B将工作信号传递到操作机B上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，操作机A中的编码器会将多管芯的位置编码传递到测试机A。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述测试机A会将接受到的编码经处理器发送到解码器上，解码后的位置信息会经处理器分析并下发相应测试动作命令。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述测试机A与操作机A之间通过电缆连接通信，且操作机A中安装有针卡。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述主机与所述测试机A和所述测试机B之间通过无线连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种多管芯晶圆测试系统，具备以下有益效果：

1、该种多管芯晶圆测试系统，通过主机与测试机A和测试机B之间的无线连接，实现了远程监控的效果，同时节省了大量的电缆和电缆占用的空间。

2、该种多管芯晶圆测试系统，通过测试机A和操作机A及测试机B操作机B之间的电缆通信，避免了操作时发生信号丢失的问题。

附图说明

图1为本实用新型整体流程示意图；

图2为本实用新型操作机A程序流程示意图；

图3为本实用新型测试机A程序流程示意图；

图4为本实用新型系统测试流程示意图。