[实用新型]一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备

摘要

本实用新型公开了一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，包括激光修复腔室及硅片传输平台；激光修复腔室包括腔室外壳及设于腔室外壳顶部的红外激光器；红外激光器用于照射硅片以使硅片开槽处出现的不规则排列的晶格缺陷重新结晶，红外激光器的温度为100℃～500℃，红外激光器的功率为20W～100W；腔室外壳设有腔壳开口，硅片传输平台通过腔壳开口将硅片传输至激光修复腔室内部。采用本实用新型，可修复晶格缺陷，降低背面复合速率，提高光电转换效率。