[实用新型]一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备

权利要求书

1.一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，其特征在于，包括激光修复腔室及硅片传输平台；

所述激光修复腔室包括腔室外壳及设于所述腔室外壳顶部的红外激光器；

所述红外激光器用于照射硅片以使所述硅片开槽处出现的不规则排列的晶格缺陷重新结晶，所述红外激光器的温度为100℃～500℃，所述红外激光器的功率为20W～100W；

所述腔室外壳设有腔壳开口，所述硅片传输平台通过所述腔壳开口将硅片传输至激光修复腔室内部。

2.如权利要求1所述用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，其特征在于，所述红外激光器的波长≥938nm。

3.如权利要求1所述用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，其特征在于，所述激光修复腔室还安装有温度传感器，所述温度传感器安装于所述红外激光器旁侧。

4.如权利要求3所述用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，其特征在于，还包括温控器，所述温控器分别与所述红外激光器及所述温度传感器电连接。

5.如权利要求1所述用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，其特征在于，所述硅片传输平台包括第一传输台面、第二传输台面、连杆及旋转轴；

所述第一传输台面及所述第二传输台面分别通过所述连杆与所述旋转轴连接并随旋转轴同步旋转。

6.如权利要求5所述用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，其特征在于，所述硅片传输平台还包括光电开关、定时器及转轴电机；

所述光电开关与所述定时器电连接，所述定时器与所述转轴电机电连接，所述转轴电机通过传动机构与旋转轴连接。

7.如权利要求5所述用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，其特征在于，所述第一传输台面及第二传输台面均设有用于定位的槽体，所述槽体面积为硅片面积的1.1～1.3倍。

8.如权利要求5所述用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，其特征在于，还包括搬运机器人及下料线，所述搬运机器人安装于所述第二传输台面与所述下料线之间。

9.如权利要求1所述用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，其特征在于，所述腔室外壳设有散热孔。