[实用新型]一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备

说明书

本实用新型公开了一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，包括激光修复腔室及硅片传输平台；激光修复腔室包括腔室外壳及设于腔室外壳顶部的红外激光器；红外激光器用于照射硅片以使硅片开槽处出现的不规则排列的晶格缺陷重新结晶，红外激光器的温度为100℃～500℃，红外激光器的功率为20W～100W；腔室外壳设有腔壳开口，硅片传输平台通过腔壳开口将硅片传输至激光修复腔室内部。采用本实用新型，可修复晶格缺陷，降低背面复合速率，提高光电转换效率。

技术领域

本实用新型涉及一种电池加工设备，尤其涉及一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备。

背景技术

PERC太阳能电池是目前市场上最流行的高效电池之一，背面局部接触背钝化技术(PERC)使得太阳能电池背面复合损失明显降低，大大提升了太阳能电池的效率。但是目前PERC技术普遍使用的钝化膜层结构为Al₂O₃/SiNx叠层，由于Al₂O₃/SiNx叠层性质稳定，常规背铝浆料无法蚀穿，故为保证铝浆与硅基底的接触需对其进行激光开槽处理；然而激光开槽也必然会对硅基底造成带来一定损伤，因为激光产生的高温会使得硅基底表面形成晶格缺陷，造成额外的复合中心，从而使得最终电池转换效率降低。一般地，PERC太阳能电池背面激光开槽面积占比为0.5％～3％，由于激光损伤带来implied_Voc损失大约为2～5mV，体现在太阳能电池效率上，其效率损失0.1％～0.25％，故如果可以将激光开槽带来的损伤进行修复，在现有的PERC太阳能电池技术上，其最终转换效率可再提升0.1％以上。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种结构简单的用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，可修复晶格缺陷，降低背面复合速率，提高光电转换效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，包括激光修复腔室及硅片传输平台；激光修复腔室包括腔室外壳及设于腔室外壳顶部的红外激光器；红外激光器用于照射硅片以使硅片开槽处出现的不规则排列的晶格缺陷重新结晶，红外激光器的温度为100℃～500℃，红外激光器的功率为20W～100W；腔室外壳设有腔壳开口，硅片传输平台通过腔壳开口将硅片传输至激光修复腔室内部。

作为上述方案的改进，红外激光器的波长≥938nm。

作为上述方案的改进，激光修复腔室还安装有温度传感器，温度传感器安装于红外激光器旁侧。

作为上述方案的改进，还包括温控器，温控器分别与红外激光器及温度传感器电连接。

作为上述方案的改进，硅片传输平台包括第一传输台面、第二传输台面、连杆及旋转轴；第一传输台面及第二传输台面分别通过连杆与旋转轴连接并随旋转轴同步旋转。

作为上述方案的改进，硅片传输平台还包括光电开关、定时器及转轴电机；光电开关与定时器电连接，定时器与转轴电机电连接，转轴电机通过传动机构与旋转轴连接。

作为上述方案的改进，第一传输台面及第二传输台面均设有用于定位的槽体，槽体面积为硅片面积的1.1～1.3倍。

作为上述方案的改进，还包括搬运机器人及下料线，搬运机器人安装于第二传输台面与下料线之间。

作为上述方案的改进，腔室外壳设有散热孔。

实施本实用新型的有益效果在于：

实施本实用新型用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，可修复晶格缺陷，降低背面复合速率，提高光电转换效率。