[实用新型]用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统

摘要

本实用新型公开了一种用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其包括：旋转支架以及驱使所述旋转支架转动的驱动机构，其中，所述旋转支架包括支架主体以及可拆卸地设置于所述支架主体上的至少一个悬挂杆，所述悬挂杆上设置有至少一个悬挂凹槽，所述的垫片零件能够套设在所述悬挂杆的悬挂凹槽处。本实用新型提供的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，结构简单，使用方便；可以保证垫片零件所有部位都能镀膜，且工作面膜厚均匀，薄膜纳米硬度和结合力不均匀性小，可以最大限度的增大装炉量且拆装方便，大大提高了镀膜的效率。