[实用新型]用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统有效
| 申请号: | 201921719223.8 | 申请日: | 2019-10-14 |
| 公开(公告)号: | CN210711728U | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
| 发明(设计)人: | 郭武明;王永欣;李金龙;王海新;张景文;管文;王立平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 赵世发;王锋 |
| 地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 垫片 零件 物理 沉积 镀膜 工装 系统 | ||
本实用新型公开了一种用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统,其包括:旋转支架以及驱使所述旋转支架转动的驱动机构,其中,所述旋转支架包括支架主体以及可拆卸地设置于所述支架主体上的至少一个悬挂杆,所述悬挂杆上设置有至少一个悬挂凹槽,所述的垫片零件能够套设在所述悬挂杆的悬挂凹槽处。本实用新型提供的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统,结构简单,使用方便;可以保证垫片零件所有部位都能镀膜,且工作面膜厚均匀,薄膜纳米硬度和结合力不均匀性小,可以最大限度的增大装炉量且拆装方便,大大提高了镀膜的效率。
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜设备,特别涉及一种用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统,属于机械设备技术领域。
背景技术
现代工业化的快速发展,对海工装备、化工设备等特种设备提出来更高更严的要求,作为这些设备不可或缺的垫片零件,经常需要在高湿热、变温、高压等特殊环境下使用,垫片零件的表面处理迫在眉睫。真空物理气相沉积可以通过镀膜在垫片零件表面形成一层高硬耐磨防腐的涂层,大大提高了垫片零件的使用可靠性和寿命,从而提高了设备的安全可靠性。现有的针对垫片零件的真空镀膜都需要逐一夹装固定,耗时费力且夹装过程中会造成部分区域被遮挡,无法完全镀膜,镀膜不均匀,装炉量也较小,镀膜效率低下。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统,克服了现有技术中镀膜不均、拆装繁琐且装炉量少等问题。
为实现前述实用新型目的,本实用新型采用的技术方案包括:
本实用新型实施例提供了一种用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统,其包括:旋转支架以及驱使所述旋转支架转动的驱动机构,其中,所述旋转支架包括支架主体以及可拆卸地设置于所述支架主体上的至少一个悬挂杆,所述悬挂杆上设置有至少一个悬挂凹槽,所述的垫片零件能够套设在所述悬挂杆的悬挂凹槽处。
在一些较为具体的实施方案中,所述支架主体包括两个固定立杆,所述的两个固定立杆的至少一端相互连接,所述两个固定立杆上均具有两个以上沿其长度方向间隔设置的固定结构,所述悬挂杆设置在所述两个固定立杆之间,所述悬挂杆的两端分别设置在所述两个固定立杆的固定结构内。
进一步的,所述的两个固定立杆平行设置。
在一些较为具体的实施方案中,所述的固定结构等间距分布。
在一些较为具体的实施方案中,所述固定结构包括形成在所述固定立杆上的安装通孔。
在一些较为具体的实施方案中,所述悬挂杆包括悬挂杆体以及设置在悬挂杆体两端的连接杆体,所述连接杆体与所述的支架主体连接,所述悬挂杆体包括复数个间隔设置的凸起部,在相邻两个凸起部之间形成所述的悬挂凹槽。
在一些较为具体的实施方案中,所述凸起部为弧形凸起部。
在一些较为具体的实施方案中,所述悬挂杆体呈波浪形,所述连接杆体呈直线形。
在一些较为具体的实施方案中,所述悬挂凹槽为圆弧形凹槽。
在一些较为具体的实施方案中,所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统包括复数个悬挂杆,所述悬挂杆垂直或倾斜设置在所述两个固定立杆之间,且在固定立杆的长度方向上,相邻两悬挂杆之间的最小间距大于垫片零件的最大宽度。
在一些较为具体的实施方案中,所述支架主体还包括连接板,所述连接板固定设置在所述两个固定立杆的端部,所述两个固定立杆经所述的连接板连接。
在一些较为具体的实施方案中,所述连接板与所述驱动机构的传动轴固定连接。
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