[实用新型]用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统

权利要求书

1.一种用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于包括：旋转支架以及驱使所述旋转支架转动的驱动机构，其中，所述旋转支架包括支架主体以及可拆卸地设置于所述支架主体上的至少一个悬挂杆，所述悬挂杆上设置有至少一个悬挂凹槽，所述的垫片零件能够套设在所述悬挂杆的悬挂凹槽处。

2.根据权利要求1所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述支架主体包括两个固定立杆，所述的两个固定立杆的至少一端相互连接，所述两个固定立杆上均具有两个以上沿其长度方向间隔设置的固定结构，所述悬挂杆设置在所述两个固定立杆之间，所述悬挂杆的两端分别设置在所述两个固定立杆的固定结构内。

3.根据权利要求2所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述的两个固定立杆平行设置。

4.根据权利要求2所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述的固定结构等间距分布。

5.根据权利要求2或4所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述固定结构包括形成在所述固定立杆上的安装通孔。

6.根据权利要求1所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述悬挂杆包括悬挂杆体以及设置在悬挂杆体两端的连接杆体，所述连接杆体与所述的支架主体连接，所述悬挂杆体包括复数个间隔设置的凸起部，在相邻两个凸起部之间形成所述的悬挂凹槽。

7.根据权利要求6所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述凸起部为弧形凸起部。

8.根据权利要求6或7所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述悬挂杆体呈波浪形，所述连接杆体呈直线形。

9.根据权利要求1或6所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述悬挂凹槽为圆弧形凹槽。

10.根据权利要求2所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于包括复数个悬挂杆，所述悬挂杆垂直或倾斜设置在所述两个固定立杆之间，且在固定立杆的长度方向上，相邻两悬挂杆之间的最小间距大于垫片零件的最大宽度。

11.根据权利要求2所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述支架主体还包括连接板，所述连接板固定设置在所述两个固定立杆的端部，所述两个固定立杆经所述的连接板连接。

12.根据权利要求11所述的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其特征在于：所述连接板与所述驱动机构的传动轴固定连接。